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41.
使用光强标定的发射光谱(AOES)测量了CHF3/C6H6混合气体的微波电子回旋共振(ECR)放电等离子体中基团的分布状态。实验发现随着CHF3流量的增加,成膜基团CF、CF2、CH等的相对密度增大,而刻蚀基团F的密度也会增加,从而使得a—C:F薄膜的沉积速率降低。同时红外吸收谱(IR)分析表明,在高CHF3流量下沉积的a—C:F薄膜中含有更高的C—F键成分。可见在a—C:F薄膜的制备中CHF3/(CHF3 C6H6)流量比是重要的控制参量。  相似文献   
42.
引入激光回馈的双光束干涉效应的研究   总被引:4,自引:4,他引:0  
刘刚  张书练  朱钧  李岩 《激光技术》2003,27(5):470-472
提出了一种引入He-Ne激光回馈的双光束干涉系统,并在理论和实验两方面进行了研究。实验中对系统中的干涉信号及激光器尾光功率变化同时进行探测。发现当干涉仪的主回馈镜移动时,激光器尾光信号是正弦形波形,而干涉仪输出的是以双峰为一个周期的信号,双峰中一峰总是高于另一峰,并且当主回馈镜移动方向改变时,同一周期中两峰出现的顺序也随之改变。对实验现象进行了理论分析,并模拟出干涉信号及激光自身功率的变化曲线。理论分析及模拟结果与实验结果完全吻合。讨论了利用发现的现象进行测量的可行性,所提出的测量方法易于实现。  相似文献   
43.
飞行目标3维姿态测量的新方法   总被引:7,自引:0,他引:7  
李永斌  张昌兵 《激光技术》2003,27(3):185-189
针对传统光测方法通常用于测量目标的点运动轨迹,而难以获得目标的3维姿态参数的情况,提出用数字图像处理手段,对目标图像建立特征点,结合特定的算法,得出目标的俯仰角、偏航角、滚动角、漂移量等3维参数,从而获取更多的目标姿态参数的新方法。  相似文献   
44.
刘小冬  刘睿 《半导体技术》2003,28(11):16-18,23
随着光电器件的广泛应用,微机械光开关成为核心光交换器件的主流。在研发过程中,其器件检测手段成为人们所关注的话题。本文介绍了一种新颖的测量平台,通过高幅值利用单片机控制脉冲频率的方法来选择器件。与当前同类方法相比,具有精度高、可靠性强、成本低、易操作等特点,具有广阔的使用前景。  相似文献   
45.
研究了垂直腔面发射激光器 (VCSEL)及其列阵器件的光谱特性、调制特性、高频特性及与微电子电路的兼容性 ,将 1× 16的VCSEL与CMOS专用集成电路进行多芯片组装 (MCM ) ,混合集成为 16信道VCSEL光发射功能模块 .测试过程中 ,功能模块的光电特性及其均匀性良好 ,测量的 - 3dB频带宽度大于 2GHz.  相似文献   
46.
用溶胶-凝胶技术在Bi(100)衬底上制备了单层和渐变型多层的BaxSr(1-X)TiO3薄膜,其膜层组分分别为:Ba0.7Sr0.3TiO3,Ba0.8Sr0.2TiO,Ba0.9Sr0.1TiO3,BaTiO3,对生长制备出的多层BaxSr(1-X)TiO3薄膜进行了变角度椭偏光谱测量,通过椭偏光谱解谱分析研究,首次得到了BaxSr(1-X)TiO3多层膜结构不同膜层的膜厚和光学常数,其结果显示:椭偏光谱分析得到的不同膜层的膜厚与卢瑟福背向散射测量得到的结果基本相符;渐变型多层膜中BaTiO3薄膜的折射率比单层BaTiO3薄膜折射率大许多,与体BaTiO3的折射率相接近,这说明渐变型多层膜中BaTiO3薄膜的光学性质与体材料的光学性质接近。  相似文献   
47.
电荷耦合器件积分时间对微型成像系统成像质量的影响   总被引:1,自引:1,他引:0  
宋勇  郝群  王涌天 《兵工学报》2003,24(3):338-341
在光圈固定的情况下,确定合适的积分时间对于提高微型电荷耦合器件(CCD)成像系统的成像质量,增强微型飞行器的侦察能力具有十分重要的意义。本文讨论了决定CCD积分时间的各种因素,重点研究了适用于微型飞行器的CCD成像系统的积分时间与像移的关系,并进一步推导了计算像移量的相关数学模型。利用该模型对不同积分时间内采集的运动图像进行了像质评价,结果表明,在保证曝光量的前提下,当像移量被限制在1个像素内时,可以获得相对理想的运动图像像质。  相似文献   
48.
In this letter, a new sharing mechanism, SRLG sharing, is proposed, which allows the links of the same shared risk link group (SRLG) in a primary light tree to share protections in WDM optical networks. In previous studies, how to share spare resources with SRLG constraints has not been studied in multicast optical networks. In this letter, considering SRLG sharing, we propose a novel algorithm –multicast with SRLG sharing (MSS)– to establish a protection light tree. Finally, the algorithm MSS and the algorithm multicast with no SRLG sharing (MNSS) are compared through a simulation to show that our new sharing scheme of SRLG sharing is more efficient than that of no SRLG sharing in terms of spare resource utilization and blocking probability.  相似文献   
49.
介绍了在城域波分网络中应用的四种环形保护倒换方案及其实现方式,并对各种保护倒换方案的特性进行了分析比较。  相似文献   
50.
光学材料的激光微加工研究进展与应用前景   总被引:2,自引:1,他引:1  
综述了国内外在光学材料激光微加工方面的研究成果和应用状况,并展望了其发展前景。  相似文献   
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