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211.
小型腔式微波离子源的研制   总被引:1,自引:1,他引:0  
研制了1种用在离子束细胞刻蚀装置中的小型腔式微波离子源,它由石英放电管、同轴谐振腔和封装在管一端的二电极引出系统组成。该源由同轴腔激发起的表面波在石英管内产生等离子体柱。为了提高柱末端等离子体离子引出流密度,选用了在内径7.0mm直管的一端加上一内径5.0mm衬管的放电管。在微波频率为2.45GHz,输入功率为93W下,氮的引出流密度分别为48.4mA/cm2和91.7mA/cm2。这种表面波放电等离子体源体积小、结构简单,可在较宽的压强范围内产生重复性好、工作稳定的等离子体柱。  相似文献   
212.
小佟家堡子金银矿床赋存在辽河群大石桥组PtLd^5 3和PtLd^4 3的互层带之中。矿体受层间滑脱构造控制。容矿岩石以自云石大理岩和硅质岩为主,矿体呈层就、似层就。矿石中的金以不可见金为主,金古量与毒砂关系最密切。成矿物质来源于地层——即海底火山喷气和喷流作用形成含矿热卤水,经运移在海盆边缘沉积形成矿源层或维集区,经区域变质作用和岩浆作用的改造,在印支期就位。矿床成因类型为同生沉积-变质一岩浆热液叠加再造型金银矿床。  相似文献   
213.
本文介绍了PROTEL元件符号图形库和点阵汉字库的结构,以及怎样将点阵汉字库转换到PROTEL元件符号图形库的方法。从而提出一种在利用PROTEL设计电路原理图时,加入汉字标注的途经。  相似文献   
214.
以提高控制系统精度为目标,详细分析了现场中各种可能的干扰源及其解决方法  相似文献   
215.
我们得到几个随机集值映象的不动点定理,它推广了M.S.Kham的结果[5],文中所使用的方法与其它作者不同  相似文献   
216.
In this work, high concentration erbium doping in silicon-rich SiO2 thin films is demonstrated. Si plus Er dual-implanted thermal SiO2 thin films on Si substrates have been fabricated by using a new method, the metal vapor vacuum arc ion source implantation with relatively low ion energy, strong flux and very high dose. X-Ray photoelectron spectroscopy measurement shows that very high Er concentrations on the surfaces of the samples, corresponding to 10 at.% or the doping level of 1021 atoms cm−3, are achieved. This value is much higher than that obtained by using other fabrication methods such as the high-energy ion implantation and molecular beam epitaxy. Reflective high-energy electron diffraction, atomic force microscopy and cross-section high-resolution transmission electron microscopy observations show that the excess Si atoms in SiO2 matrix accumulate to form Si clusters and then crystallize gradually into Si nanoparticles embedded in SiO2 films during dual-ion implantation followed by rapid thermal annealing. Er segregation and precipitates are not formed. Photoluminescence at the wavelength of 1.54 μm exhibits very weak temperature dependence due to the introduction of Si nanocrystals into the SiO2 matrix. The 1.54-μm light emission signals from annealed samples decrease by less than a factor of 2 when the measuring temperature increases from 77 K to room temperature.  相似文献   
217.
渤海湾盆地复式油气聚集带高勘探程度区进一步挖潜的领域   总被引:15,自引:4,他引:11  
渤海湾盆地复式油气聚集区经过了40年的勘探,目前已进入了高勘探程度区.油气聚集的复杂规律表明,渤海湾盆地仍具有巨大的资源潜力,进一步挖潜的领域非常广阔.以第三系为烃源岩的含油气层系的勘探精度仍有待于进一步提高,同时必须将以古生界、中生界和中上元古界为烃源岩的含油气层系作为今后挖潜的重要领域.渤海湾盆地任何层系都可能形成和聚集油气,因此仍有多种复杂的油气藏类型尚待进一步认识和发现.  相似文献   
218.
219.
蔡鸿飞 《特种结构》2004,21(3):82-83
本文介绍了湛江金辉煌综合楼工程的深基坑应用沙袋堆叠作挡土结构的设计与施工  相似文献   
220.
利用函数极小点的性质,得到了若干个正数的加权算术平均与几何平均关系式的新证法  相似文献   
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