硅通孔化学机械平坦化中铜去除的电化学与选择性研究

利用极化曲线测量法研究了甘氨酸和过氧化氢浓度及pH对硅通孔(TSV)化学机械平坦化(CMP)中铜腐蚀的影响。结果表明:甘氨酸对铜的腐蚀随其浓度增大而增强;随着过氧化氢浓度增大,铜腐蚀电位逐渐增大;在p H为10时铜的腐蚀效果最佳。CMP实验表明,在不同浓度的甘氨酸和过氧化氢之下,抛光速率可调,达1.9~5.8μm/min,铜表面粗糙度为5~29 nm,铜钽去除速率比为20~50。     

岩石节理三维粗糙度各向异性表征新方法

针对传统二维节理面粗糙度表征方法的不足,提出一种新的岩石节理面三维粗糙度描述方法。首先,利用光学扫描系统得到节理表面点云数据并建立三维模型;运用改进的变异函数方法,提出一种新的基于正态分布模型参数的三维粗糙度(VA)方法;最后,运用新方法对花岗岩张拉型节理表面的粗糙特性进行分析。结果表明,提出的新方法能够反映节理面的起伏变化、频率和分形特征,并因此能描述出节理粗糙度的各向异性特性。     

An Experimental Study of Fatigue Strength for Adhesively Bonded Tubular Single Lap Joints

In this paper, manufacturing technology of the tubular single lap adhesive joint was studied to obtain reliable and optimal joint quality. In addition, a surface preparation method and a bonding process for the joint were devised. The effect of the adhesive thickness and the adherend roughness on the fatigue strength of the joint was experimentally investigated. From experiments, it has been found that the fatigue strength of the joint increased as the adhesive thickness decreased and the optimal arithmetic surface roughness of the adherends was about 2 μm.     

高速工具钢电化学抛光

讨论了高速工具钢（W9Mo3Cr4V）电抛光，分别研究了电流密度、抛光时间和抛光温度与粗糙度之间的关系，并应用正交实验找出了一组适舍高速工具钢电抛光的最佳工艺奈件。     

基于改进A*算法的越野路径规划研究

针对车辆的越野路径规划问题, 研究并分析了地形坡度和地表属性对于车辆路径规划的综合影响。引入了窗口移动法对地形进行先期的坡度计算和通行性分析, 就轮式车辆和履带式车辆分别建立了地表属性的粗糙度评价指标, 并采用面积占优法将地表属性栅格化。通过建立禁忌表, 叠加了坡度与粗糙度的约束影响以减少搜索范围, 提高搜索效率。构造了改进A*算法的估价函数, 并结合expand表、open表、closed表以及path表设计了考虑坡度和粗糙度约束的路径优化算法。仿真结果表明, 该算法能够快速有效地实现符合真实地形环境的越野路径规划。     

Initial Deposition of Colloidal Particles on a Rough Nanofiltration Membrane

The initial rate of colloid deposition onto semi‐permeable membranes is largely controlled by the coupled influence of permeation drag and particle‐membrane colloidal interactions. Recent studies show that the particle‐membrane interactions are subject to immense local variations due to the inherent morphological heterogeneity (roughness) of reverse osmosis (RO) and nanofiltration (NF) membranes. This experimental investigation reports the effect of membrane roughness on the initial deposition of polystyrene latex particles on a rough NF membrane during cross flow membrane filtration under different operating pressures and solution chemistries. Atomic force microscopy was used to characterize the roughness of the membrane and observe the structure of particle deposits. At the initial stages of fouling, the AFM images show that more particles preferentially accumulate near the “peaks” than in the “valleys” of the rough NF membrane surface.     

等离子体抛光对表面粗糙度的影响

为了得到超光滑表面且无表层损伤的光学元件,引入一种新型的超光滑表面加工技术——等离子体抛光.在新设计的等离子加工实验平台上进行了等离子体加工工艺实验,对氧气流量,放电功率大小,磁场大小几个参数对基片表面粗糙度的影响进行了实验研究,且优化了工艺参数.结果表明增加氧气流量,合理控制功率和磁场强度都会使等离子体抛光基片表面粗糙度减小.当氧气流量为50 sccm,功率为80 W,磁场强度为17 mT时,粗糙度达到最小值0.9 nm.     

淬硬钢硬态切削表面粗糙度研究

使用Ti—C基金属陶瓷刀具对45淬硬钢进行了切削试验,研究了切削用量对表面粗糙度的影响．试验分析表明,进给量对表面粗糙度影响最为显著,切削速度对表面粗糙度有一定影响,切削深度对表面粗糙度的影响很小．运用回归分析法,建立了硬态切削表面粗糙度预测模型,通过试验验证了预测模型的准确性．     

磁控溅射AI／Pb纳米多层膜调制结构研究

用磁控交替沉积制备Al／Pb纳米多层膜,运用XPS,AFM,TEM考察表面状况及膜结构．结果表明,实验条件下,当Al层厚60nm时,Pb子层标定厚度从20nm增至30nm,可形成较完整埋层调制结构．随Pb层厚度增加,连续性变好、表面糙度降低,Al层对Pb层表面糙度克服能力提高,改善层状结构完整性．多层膜中Al,Pb子层均存在（111）择优取向特征,由fcc结构的表面自由能最小化引起．     

Gabor小波和改进LBP的零件表面粗糙度识别

目的 为了提取零件表面图像的纹理特征并对其表面粗糙度分类识别,有效提高识别的正确率,提出了联合Gabor小波和改进局部二值模式(LBP)的纹理特征提取方法。方法 针对传统LBP算子忽略了邻域内灰度差幅值特征的问题,提出了M_LBP(magnitude considered LBP)算子。采用Gabor小波对零件表面图像滤波,并计算各子图像 Gabor幅值特征GMM(Gabor magnitude maps)。应用M_LBP算子计算各GMM的M_LBP特征谱,进而构造得到零件表面图像的纹理特征向量,最后通过KNN(K-nearest neighbor)算法对零件粗糙度分类识别。结果 本文提出的算法有效细化了表面图像纹理特征,对粗糙度差别为0.2 μm的零件识别准确率达到98%,远高于利用传统LBP算子提取的纹理信息的识别准确率。结论 本文提出了一种有效细化LBP纹理特征的M_LBP算子,并通过与Gabor小波的结合,突破了传统LBP算子尺度、方向单一,幅值信息被忽略的局限性,能实现较高精度的粗糙度识别。