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ANSYS是计算机辅助工程领域应用最广泛的有限元分析软件,通过脉冲CO2激光损伤K9玻璃有限元模型的建立和网格划分、脉冲激光的加载、设置初始条件和边界条件等几个方面,分析了基于ANSYS仿真脉冲CO2激光损伤K9玻璃过程中的一些关键问题.建立了脉冲CO2激光损伤K9玻璃的有限元模型,对K9玻璃受到脉冲CO2激光辐照时的温度和应力分布进行了数值分析.计算结果表明:在激光能量较小情况下K9玻璃的损伤为热应力损伤,损伤主要由环向拉伸应力所控制,存在体损伤和面损伤两种形式,激光脉宽和光斑半径对损伤效果有较大影响,脉宽越小,产生的热应力越大,损伤效果越好;激光光斑半径越大,产生的热应力越小,损伤效果越差. 相似文献
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Larry Zhao Henny VoldersMikhail Baklanov Zsolt T?keiMarianna Pantouvaki Christopher J. WilsonEls Van Besien Gerald P. BeyerCor Claeys 《Microelectronic Engineering》2011,88(9):3030-3034
A unique test structure based on a metal-insulator-semiconductor planar capacitor (Pcap) design was used to investigate several aspects of metal barrier-induced low-k damage. A special term called Effective Damage Thickness was introduced to describe the degree of damage. Ta(N) barrier was deposited on various dielectric films with porosity up to 32%. It has been found that the Effective Damage Thickness increases as the porosity increases. The damage is influenced more by the porosity of low-k films than the film density. Furthermore, the damage was modulated by Ta(N) deposition conditions. More damage was observed when higher target and/or substrate bias power was used, suggesting that the ion energy of the barrier material plays an important role in the low-k damage mechanism. A same degree of damage was observed for Ta barrier as for Ta(N), suggesting that Ta(N) deposition-induced low-k damage was primarily caused by Ta ions not nitrogen. Impact of Ru(Ta) and Cu(Mn) self forming barrier on low-k damage was also investigated. Among all the barriers studied in this work, the Ta-based barriers caused the most damage while the Cu(Mn) self forming barrier had the least damage to the low-k. The atomic masses for Ta, Ru, and Cu are 181, 101, and 64, respectively, corresponding with the observed degree of damage in the low-k material. 相似文献
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从理论上分析Lamb波群速度识别铝合金疲劳损伤的可行性。搭建主动Lamb波结构健康监测系统,采用基于Lamb波群速度的结构损伤检测方法,研究金属疲劳引起的损伤形变的识别过程;通过波包分解技术将接收信号中混叠的激励波包分解出来,从而准确地提取波包的到达时刻,实现Lamb波传播群速度的计算。在实际7050铝合金板材结构上进行了实验验证,并与短时傅里叶变换法进行对比。实验结果表明,采用波包分解技术能准确获取波包的传播时间,通过对比群速度识别金属疲劳的存在,其有效性高于短时傅里叶变换法。 相似文献
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激光超声检测技术以其优异的特性广泛应用于无损检测评估领域,传统超声检测仪器智能化程度低、开发周期长等缺点限制了超声检测技术的发展。该文分析了激光超声探伤的原理,给出了一种确定缺陷分布位置的计算方法,建立激光超声探伤实验装置,采用LabVIEW软件开发了超声探伤虚拟仪器,进行工程结构超声探伤实验研究。结果表明,该系统能有效用于工程结构缺陷定位,相对误差为5.97%,具有较高精度,可满足工程实际需求,且操作简单,易于实现,软件界面友好,可扩展性强,智能化程度高。 相似文献
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