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101.
纹膜结构用于电容式硅微麦克风的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
本文提出的一种纹膜结构单硅片微麦克风,采用了硅微机械技术,且实现了麦克风电容两电极之间的自对准,大大提高了麦克风的生产效率,降低了成本.纹膜结构有降低和消除膜内应力的作用,而纹膜的三维结构使麦克风电容的有效面积有所增加,这些都显著地提高了麦克风的灵敏度,是该项新结构的关键.本文从理论和实验上对纹膜结构机械性能与结构尺寸参数之间的关系,及结构的优化进行了研究.通过对制作出的不同结构参数q值的麦克风的测试,得到了与初步理论分析基本相符的实验结果.实验证明,纹膜结构具有比相应的平膜结构高得多的机械灵敏度和麦克风 相似文献
102.
104.
本文以微器件设计为对象,对微硅表面制造驱动的微器件并行设计方法学及相应的计算机辅助设计工具的开发逻辑进行了研究,提出了采用基于三层Web-ASP集成框架实现e-CAD原型工具的编程方案,其中,并行任务流管理与控制,微器件实例及设计资源库,微加工工艺规划及仿真,微器件设计评价等是该系统实现的关键要素,在此基础上将建立网上微器件设计中心,并通过应用服务机制,实现对微器件设计工具使用的商务化,以达到降低设计成本,加快MEMS产业化之目的。 相似文献
105.
106.
107.
最新橡胶工艺原理(二) 总被引:1,自引:0,他引:1
2.3 三维网状结构橡胶弹性体的制造如图 2 -2所示 ,交联反应是对高分子链实施化学结合进行三维化反应的总称。橡胶通过交联变成具有三维网状结构的弹性体 ,其性能按交联形态和网状链密度不同而差异很大。表2 -3为交联结构的类型与特征。图 2 - 2 各种橡胶的交联模型(a) -高分子量橡胶 ;(b) -普通液体橡胶 ;(c) -远螯液体橡胶表 2 - 3 交联结构的类型与特征类 型交联点交联点结构实 例共价键型网状结构永久性定域化 点 交联橡胶 ,热固性树脂 ,末端交联型网状结构可逆型网状结构临时性定域化点分子链束形成微区热塑性弹性体 ,明胶 ,胶… 相似文献
108.
濮城油田沙二下是一个被断层复杂化了的断块型油气藏,通过对储层的精细描述表明,各砂岩组顶面微构造发育,其成因有2种,与构造作用有关的微构造及与构造作用无关的微构造,前者规模较大,后者规模通常较小,根据微构造的起伏变化和形态,可分为3类:正向微构造,负向微构造,斜面微构造,正向微构造是油气富集与控制剩余油分布的重要微构造。 相似文献
109.
测定苯乙烯单体残留量样品处理方法的改进 总被引:2,自引:1,他引:1
聚苯乙烯中残留苯乙烯单体含量的测定中,采用微波辅助萃取法进行样品处理,既避免了样品中低聚合度组分对色谱柱的污染,同时又使萃取处理的时间从原来的1h以上缩短到30min内,方法的精密度、准确度均达到现方法GB/T16867-1997的要求,2次重复测定值的差值不大于其平均值的10%。 相似文献
110.