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本文从应用出发,选择光学石英为衬底,采用热丝辅助射频化学气相沉积的方法沉积BPxN1—x薄膜,对样品进行了X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外—可见等测试。XRD、SEM结果显示薄膜多晶态,表面形貌随时间变化,最终为胞状;紫外—可见光光谱结果显示BPxN1—x薄膜的紫外吸收边随沉积时间的加长、PH3流量的增加而向长波长方向移动。因此,该材料的光学能隙可以通过生长工艺适当调整。另外,BPxN1—x薄膜与液晶层能较好匹配等特性更使其适用于紫外空间光调制器。 相似文献
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数字式流量阀是一种新研制开发的数字控制式流量阀,其调速控制响应快、精度高、稳定性好,应用于工程机械液压系统,可使工程机械的操纵控制系统面临新的变革。 相似文献
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本文就29750吨运煤船压载阀传动装置的进行了论述,通过对问题思考和方案的论证,提出了相应的建议,并成功地应用于实船。 相似文献
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2Cr13阀杆在不同热处理工艺下的组织与性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文研究了2Cr13钢阀杆在不同淬火和回火工艺下的拉伸性能和冲击韧性的变化规律。运用扫描电镜观察了不同热处理参数下的组织特性与断口形态,用透射电镜研究了析出物种类和分布。讨论了显微组织与性能之间的关系,并由此确定出这些零件最佳的热处理制度。 相似文献
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微型阀是微流体测量系统的重要组成部分,本文提出了种微型光敏聚酰亚胺被动阀,分析了该材料性能,叙述了微型阀的特点、结构设计和工艺流程,并讨论了加工过程中的一些关键技术。 相似文献
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本文分析了伺服阀分辨率对电液位置伺服系统稳定性的影响,对其劣化系统低速性能进行了分析仿真,并指出了减小阀分辨率误差影响的思路和措施。 相似文献
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