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晶体半导体公司研制了分辨率为16位、最大转换速度50k次/秒的A/D转换器和分辨率为12位、最大转换速度1M次/秒的A/D转换器LSI。这两种A/D转换器LSI都具有自校准非线性误差的功能,这种功能可调整与各位相对应的2~N(N是位数)个加权电容器的电容比。各位的电容器由偶数个小容量电容器构成,改变电容器数量的同时即可进行校准。用集成在芯片上的微计算机控制校准操作,可以使LSI制造过程中的试验变得简单。即使在用户正在使用着的系统上也能够自动进行校准,因而对温度变化和时效变化也能够进行补偿。 相似文献
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GaAs亚微米自对准工艺技术研究 总被引:2,自引:2,他引:0
总结了在50mmGaAs圆片上实现自对准介质膜隔离等平面工艺技术的研究,着重描述了离子注入、自对准亚微米难熔栅制备、钝化介质膜生长、干法刻蚀、电阻和电容制备等关键工艺的研究结果。这套工艺的均匀性、重复性好,在50mmGaAs圆片上获得了满意的成品率。采用这套工艺已成功地研制出多种性能良好的GaAsIC和GaAs功率MESFET,证明国家自然科学基金委员会这一重大课题的选择对发展我国GaAsIC确实具有重大意义。 相似文献