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微型阀是微流体测量系统的重要组成部分,本文提出了种微型光敏聚酰亚胺被动阀,分析了该材料性能,叙述了微型阀的特点、结构设计和工艺流程,并讨论了加工过程中的一些关键技术。 相似文献
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数字微反射镜器件(DMD)是得克萨斯仪器公司(TI)研制的,它是一种利用硅基微电子机械系统的(MEMS)反射式空间光调制器。调制器阵列中的每个小反射镜能够单独控制,使入射光线进入或者偏离于透镜的通光口径。虽然这种技术已广泛地用于图形识别和光纤互连,然而TI确把投影显示选为这种技术的商业应用市场。1.数字化微反射镜器件工作原理和结构 相似文献
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介绍了无刷励磁同步电动机实现并网控制的具体条件.同时论述了截整步控制器系统各主要环节的控制原理与检测以及该系统的调节。 相似文献
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佳水 《激光与光电子学进展》2002,39(11):7-12
1 引言请想像这样的景像,用微小的机器干各种活。有的使汽车运行更加平稳安全,免除交通事故中千万人遇难。有的则以每秒数拍(1015比特)速率处理信息,从全球网站为人们下载影视节目。另一些能以前所未有的灵敏度和精确度进行科学测量。晶片大小的化工厂则能在需要的时间和地点制造危险的材料。这样的景像现已出现:我们正生活于其中,这就是现代的硅微机械世界[1]。这个世界在40多年前就由Richard Feynman以惊人的先见所预言,当时晶体三极管仍是刚发明而未被验证的技术,集成电路则在多年后才出现。在其1959年的讲话“底层仍有许多空… 相似文献
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应用FORTRAN77语言,编制了模拟计算真空微电子管特性的有限元程序,在计算机上模拟真空微电子管各参数变化对尖端场分布和尖端发射电流的影响。 相似文献
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采用直流电弧等离子体蒸发-凝聚法制备了高纯氮化铝纳米粉末,粉末的平均晶粒度为50nm,纯度大于98%。借助X射线光电子能谱、化学分析和差热失重等测试手段,探索了AIN纳米粉末的表面化学组成和氧化特性,研究结果表明,AIN纳米粉末易吸湿氧化,大大降低了其纯度。AIN纳米粉末表面的氧是以两种状态即物理吸附态和化合态存在。 相似文献