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光刻胶灰化工艺与深亚微米线条的制作 总被引：5，自引：1，他引：4
随着器件尺寸的缩小，细线条的制作成为很关键的工艺，普通光学光刻已接近其分辨率的极限，而电子束光刻和Ｘ射线光刻技术复杂、费用昂贵。本文对光刻胶灰化工艺进行了分析和研究，并应用此工艺进行了深亚微米线条的制作，在普通光学光刻机上制作出宽度小于０．２５μｍ细线条。我们已将此工艺成功地应用在深亚微米ＭＯＳＦＥＴ的制作中。 相似文献
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李应 《甘肃水利水电技术》1998,(3):16-18
引大东一干输水渠1＃陡坡建成试通水后发现其消力池消能不充分，致使下游较长一段渠道水面波动较大，对渠道及建筑物安全不利，遂对原消能工进行改造，通过水工模型试验研究确定，采用分流墩和消力墩相结合的消能措施，达到了预期的消能效果，这种措施工程造价低，施工便利，工期短，具有很大的经济意义。 相似文献
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为了把质量标准化工作提高到一个新水平,鹤壁矿务局在岩巷施工中,开展争创“精装头”的活动已初见成效.所谓“精装头”是与“标准头”对比来说的,好象一本书的封面是“精装”还是“平装”.“精装头”比“标准头”在质量、安全、文明生产等方面提出了更高的要求.具体作法如下:一、精装头的条件1.单进:完成当月计划;2.质量:扒岩机以后的成巷部分班班验收是优良品; 相似文献
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从滚动轴承公差带分布的特点和轴承，轴颈都存在制造误差的分析出发，探讨了尺寸轴承要比小尺寸轴承安装和拆卸都困难得多的原因，提出了大尺寸轴承应选择较紧的间隙合的探索意见，并以实例加以证明。 相似文献
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1工程概况南通天生港发电有限公司2×300MW机组取排水工程取排水循环方式为近取远排式,近岸边采用沉井结构修建水泵房,排水结构为大直径钢管。在进行施工招标时,设计单位对排水管道的施工提出了全顶管、全沉管、半沉半顶等多种方案,由施工 相似文献