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单晶硅广泛应用于MEMS器件中。根据等效刚度原理,单晶硅可以简化为各向同性材料。介绍了一种采用湿法腐蚀工艺加工的倾斜硅梁,并利用频率响应特性测试了其等效杨氏模量和等效泊松比。采用(100)硅片制作了八组不同尺寸参数的倾斜硅梁。梁的宽度尺寸间隔为30μm,尺寸范围为30μm~240μm,对应宽高比为1/8~1。实验结果证明了等效杨氏模量与倾斜梁尺寸无关,而等效泊松比不仅和单晶硅的特性相关,而且受倾斜梁尺寸的影响。实验得到的等效杨氏模量为170.51 GPa±2.08 GPa。对等效泊松比的测量结果在Matlab中进行了多项式拟合,7次拟合多项式已经与测试结果具有很好的一致性。 相似文献
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氮化硅薄膜力学性能的研究及其在射频MEMS开关中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
氮化硅薄膜具有致密的结构、高强度和良好的耐磨性能,可用于MEMS器件中作为结构部件.本文采用PECVD法制备氮化硅薄膜,对氮化硅薄膜的杨氏模量和硬度进行了测试,并分析了沉积温度、反应气体流量比对薄膜杨氏模量和硬度的影响.应用氮化硅薄膜作为悬梁,制作了射频MEMS开关. 相似文献
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杨氏模量是表征材料性质的一个物理量,杨氏模量的测量是大学物理实验课程中的综合性实验项目,目前由于大部分高校杨氏模量测量仪都比较老旧,仪器磨损严重,反光镜等设备均已老化,造成测量精度不准等问题,严重影响了实验教学的正常开展,再加上反光镜容易掉落和破碎,所以文章设计了一种新型的反光镜,有效地避免了上述问题,极大地提高了杨氏模量实验的测量效果。 相似文献
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肝癌在我国的恶性肿瘤致死率中占据第二位,全世界每年都会投入巨大的人力和物力致力于破解癌症奥秘,寻找有效的治疗方式和药物,但截止到目前收效甚微。形貌和力学信息是细胞的基本特征,为了给临床医学提供更多的参考,本文以人肝癌细胞SMMC-7721为样本,采用原子力显微镜对活细胞的形态进行了详细的表征。在QI模式下,获得并分析了培养于不同基底的细胞-探针之间的粘附力范围,以及细胞表面的杨氏模量图谱,实现了细胞基础力学信息的全面检测。 相似文献
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岩石动静力学参数的试验研究 总被引:18,自引:10,他引:18
林英松;葛洪魁;王顺昌 《岩石力学与工程学报》1998,17(2):216-216
在三轴应力下对砂、泥岩等岩芯(干岩样)进行了岩石力学参数的动、静态同步测试,并对动静态弹性参数进行了线性回归。结果表明:岩石的动静态杨氏模量之间存在较好的相关性,而动静态泊松比之间的关系不明显,该项研究为岩石的声学性质在石油工程中的应用提供了实验依据。 相似文献
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