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制作压力传感器时,在二氧化硅层上淀积多晶硅膜,既可利用优良的机械特性,又可保证压敏电阻与衬底间具有良好的绝缘性,由此可大大提高器件的温度特性。介绍了一种多晶硅压力传感器的原理和设计。实验结果表明,这类传感器具有灵敏度好,精度高等特点,电路工作范围为0-250℃,且具有良好的温度稳定性。 相似文献
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压力程序控制仪的设计王明峰,秦兰TheDesignofProgramControlledPressureGange¥WangMingfeng;QinLan1引言压力程序控制仪是某些自动控制系统的重要组成部分,用户所需要的压力程序控制曲线,可以存储在其... 相似文献
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本文描述了一种基于全内反射原理,用透明橡胶材料作为波导板的柔性触觉传感器。该传感器除具有一般刚性波导板触觉传感器的高分辨力等特点外,还具有柔性好,力灵敏阈值低,不怕碰撞等特点,该传感器特别适合装在智能机器人手爪上,为机器人系统高效率地获取物体形状,位置和姿态信息,实现智能抓握物体,操作物体等功能提供了有效的手段。 相似文献
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