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张荣  曲宏伟 《微电子学》1998,28(6):437-439
制作压力传感器时,在二氧化硅层上淀积多晶硅膜,既可利用优良的机械特性,又可保证压敏电阻与衬底间具有良好的绝缘性,由此可大大提高器件的温度特性。介绍了一种多晶硅压力传感器的原理和设计。实验结果表明,这类传感器具有灵敏度好,精度高等特点,电路工作范围为0-250℃,且具有良好的温度稳定性。  相似文献   
72.
压力程序控制仪的设计王明峰,秦兰TheDesignofProgramControlledPressureGange¥WangMingfeng;QinLan1引言压力程序控制仪是某些自动控制系统的重要组成部分,用户所需要的压力程序控制曲线,可以存储在其...  相似文献   
73.
贾云得  李科杰 《机器人》1994,16(1):40-44
本文描述了一种基于全内反射原理,用透明橡胶材料作为波导板的柔性触觉传感器。该传感器除具有一般刚性波导板触觉传感器的高分辨力等特点外,还具有柔性好,力灵敏阈值低,不怕碰撞等特点,该传感器特别适合装在智能机器人手爪上,为机器人系统高效率地获取物体形状,位置和姿态信息,实现智能抓握物体,操作物体等功能提供了有效的手段。  相似文献   
74.
王吉连  熊有伦 《机器人》1994,16(4):250-256
计算机仿真是校验基于传感器的机器人系统运动和任务规划的主要工具,也是优化设计机器人传感器的有力工具,本文阐述了机器人传感器仿真的现状,系统对讨论了机器人传感器仿真的基本概念,分类,模型及特点和方法。  相似文献   
75.
电流型酶电极响应动力学模型   总被引:1,自引:0,他引:1  
  相似文献   
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