一种亚微米垂直硅墙的刻蚀方法

亚微米垂直硅墙的制备是垂直硅薄膜耦合约瑟夫逊结的关键工艺.本文作者在普通光刻设备基础上,开发了一种在〈100〉硅片上制备亚微米硅墙的刻蚀方法:首先用普通光刻手段刻出较宽的墙区;其次,对非墙区进行迭加注入掺杂;第三,杂质高温横向扩散,第四,掺杂选择性刻蚀;第五,高温氧化减薄.实验结果表明,这种方法可以获得墙宽为0.29μm,墙高为1μm左右的硅墙,而且还有一定的改进潜力.     

W火焰锅炉脱硝系统流场CFD优化

由于W火焰锅炉炉膛设计热负荷与火焰中心温度较高,热力型NO_x生成增加,炉膛出口NO_x质量浓度远高于其他煤粉锅炉,对锅炉后部的选择性催化还原(SCR)脱硝装置要求很高。为探究流场和组分浓度分布对SCR装置脱硝效率和氨逃逸的影响,提升装置脱硝性能,采用计算流体力学(CFD)仿真手段建立某电厂660 MW机组W火焰锅炉脱硝系统的三维计算流体力学模型,并进行数值模拟;为使计算结果更贴近实际工况,按照锅炉满负荷下摸底试验数据设定入口NO_x浓度边界条件。通过详细分析SCR系统烟气速度分布、组分浓度分布、氨逃逸等流动特性,针对流场优化、分区喷氨和新型静态混合器对脱硝性能的影响进行模拟与优化,从而提高SCR系统流场及浓度场均匀性。优化前后模拟结果表明,通过增加顶部导流板数量,可提升催化剂入口速度分布均匀性,消除催化剂入口速度较高的条状区域,优化后催化剂入口烟气速度分布相对标准偏差由20.86%降至3.80%;通过增加三角翼型静态混合器可消除入口NO_x浓度分布不均的影响,提升浓度场均匀性,分区最大氨氮物质的量比相对标...     

浅论在软土地基上筑堤

1概述堤坝地基不同于建筑物的地基,它位于堤坝填筑之下,堤坝作为一个面且线较长,不可能对地基进行全线处理,只能直接地在原地基上进行填筑。尤其遇到天然地基较软弱,不能满足堤坝填筑高度(荷载)对地基的     

浅析苯乙烯装置节能降耗的措施与想法

对中科(广东)炼化有限公司东兴分部6万t/a的苯乙烯装置能耗组成进行分析,找出影响装置能耗的主要因素。总结装置已采取的节能措施,并针对装置当前的实际情况,提出一些降低能耗的措施,为进一步节能降耗工作提供新思路和想法。     

基于小样本失效数据的复杂装备可靠性评估研究进展与挑战

随着集机、电、液等技术于一体的复杂系统朝着高可靠性、长寿命、高成本等方向发展,在可靠性定时截尾试验中经常出现小样本失效数据,甚至无失效数据情况.在阐述整机级、系统级复杂装备具有可靠性数据多源、数据信息不确定、连续性执行任务等特点的基础上,分别从先验信息、数据扩充和多源信息融合3个方面综述了小样本失效数据可靠性评估的研究...     

电化学催化还原水中硝酸根研究综述

综述了近年来,随着社会生产和人类活动的快速发展,大量硝酸盐进入水体造成污染,对生态环境和人类健康构成巨大威胁.电化学催化还原水体硝酸根(NO3-)技术通过外加电源提供自由电子,在催化剂表面将NO3-转化为N2溢出,实现无害化脱氮的目的 ,具有处理效率高、无污泥产出、反应条件温和、操作方便、二次污染小等优点,被认为是一种...     

Siluria科技公司开发出一种使甲烷转化成乙烯的新催化剂

美国Siluria科技公司于2010年12月10日宣布,开发出一种合成方法,可调整催化剂表面的形态,从而可在低温下使甲烷氧化偶联(OCM)反应具有高的性能。工业上可行的OCM方法已探索了几十年,但过去的努力均未成功,这是由于使甲烷活化需要的高温降低了反应的选择性。采用以前研究过的许多催化剂,甲基自由基团在转化为所需的乙烯产品之前,就滞留在催化剂表面,     

小贴士

请把你的小贴士寄给我们,一经采用,奖励当期杂志一本。让透明零件不起雾的技巧你无需进入化学领域,我就能告诉你强力胶和苯乙烯粘合剂会在处理透明零件时起雾。为了防止起雾现象发生,你可以使用质量好的白乳胶粘接透明零件,或者给透明零件用Future地板亮光漆事先在上面涂一层,这样就可以很好地保护透明零件的清晰度,避免出现有害零件表现的烟雾。     

MMP微细加工技术

MMP微加工技术是目前为止世界上处于领先的表面处理技术,是BINC公司独创的机械、物理、化学综合处理方案。其核心优势在于可以控制物件的表面粗糙度,根据实际需求有选择或全部去除物件的表面粗糙度。     

化工新型材料

美国PPG公司:增加沉淀法白炭黑产能据美国《橡胶世界》报道,PPG公司近日宣布,将通过2家工厂的扩建项目,使全球沉淀法白炭黑生产能力提高1.8万t,以满足客户对高品质沉淀法白炭黑不断增长的需求。这2家要扩建的工厂中,一家位于美国路易斯安那州的查尔斯湖(Lake Charles),另一家在荷兰的德而福