浅谈高多层埋／盲孔板制作的重点控制项目

本文主要概述了大尺寸高多层/埋盲孔板制作的重点控制项目,达到提高产品的成品率。     

单晶硅化物及其应用

本文评述了单晶CoSi_2和NiSi_2的结构特点、各种制备方法、器件应用和发展前景。采用分子束外延(MBE)和“内延”法(Mesotaxy)制备的单晶硅化物质量,电学性能和热稳定性较好。由于首次得到理想的突变的金属——半导体接触,使对金属——半导体接触的理论分析成为可能。硅/单晶硅化物/硅结构在实际应用中非常重要,如单晶硅化物作集电极埋层,能降低集电极串联电阻,克服重掺杂埋层的横扩和自掺杂问题,提高了电路工作速度,减小了器件面积。埋层硅化物也可作为微波传输线的地线,是实现高频集成电路互连的好方法。而采用该结构制备的高速器件——金属基区晶体管(MBT)和穿透基区晶体管(PBT),具有很好的应用前景。     

渤海湾盆地渤中凹陷大气田形成条件与勘探方向

渤中凹陷是渤海湾盆地最富油、也最富气的凹陷,凹陷位于渤海海域中部,面积近9 000 km²,新生界厚度最大超过10 km,是渤海湾盆地面积最大、厚度最大的凹陷。渤中凹陷经历了古近纪断陷和新近纪区域拗陷两大阶段。古近纪断陷期双向伸展,形成"四洼一突"格局,断陷经历了由分隔洼陷到汇聚统一的演化过程;拗陷期持续沉降,形成古近系和新近系-第四系"双厚型"结构。渤中凹陷发育沙河街组三段、沙河街组一段及东营组三段3套优质烃源岩层系,优质烃源岩主要发育在沙河街组三段中-上部、沙河街组一段及东营组三段下部,上覆层巨厚,烃源岩演化程度高。基于统计分析重新构建了渤中凹陷不同层系烃源岩的生/排烃模型,从预测结果可以看出,渤中凹陷烃源岩排油量为512.5×10⁸m³、排气量为311.64×10¹¹m³。渤中凹陷潜山和孔店组储层油气源条件好,有近源特点。区域盖层为古近系下部厚层泥岩,成岩程度高、封堵能力强。潜山地层时代老、岩性硬、经历多期构造运动、裂缝发育、受强溶蚀、物性好、产量高,孔店组砂砾岩抗压实能力强。深层圈闭成群成带发育,规模大,勘探前景大,因此渤中凹陷深层具有形成大气田的条件,是发现大气田的有利领域。     

潜山复杂断裂描述技术——以渤海湾盆地济阳坳陷桩海地区为例

渤海湾盆地济阳坳陷桩海地区前新生界潜山应力场复杂、正逆断层判识不准。通过探讨断裂演化的成因机制来判定断层的性质,研究不同性质断层的解释关键技术以准确描述断裂体系,归纳断裂发育样式以明确构造特征。研究表明,桩海地区先后经历了区域抬升—构造平稳—挤压—构造平稳—拉张—压扭—张扭等多期不同应力场作用,印支期、燕山晚期的2次挤压作用形成的逆冲构造奠定了潜山格局,喜马拉雅期的拉张走滑作用使潜山构造复杂化,形成逆断层为主、正断层为辅的断层解释方案。以叠前深度偏移资料为基础,应用地层厚度变化率导数和倾角导数法解释逆冲断层,切片断面联合法解释走滑断层,相干、蚂蚁体、三维可视化等多属性体融合法解释拉张断层。明确桩海地区古生界发育北北东走向逆断层和东西走向拉张断层,主要发育逆冲、负反转、走滑3种断层样式,呈现出复杂的“垒、堑”相间排列格局。     

渤海海域沙西北地区潜山油源及成藏特征

综合地质与地球化学方法,探讨了渤海海域沙西北地区潜山的油气来源及成藏特征。生物标志物参数表明沙西北地区已发现的原油位于沙河街组。曹妃甸2-1油田的潜山储层岩性为碳酸盐岩,潜山的原油具有高的伽马蜡烷指数（G/H）以及相对低4-甲基甾烷参数（4MSI）,具有相对轻的正构烷烃碳同位素值（整体轻于-29‰）,主要为沙河街组一段（沙一段）的油源。曹妃甸1-6油田为花岗岩潜山储层,潜山的原油具有相对高的4MSI（>0.4）,正构烷烃的碳同位素值偏重（重于-29%）,可能指示着以沙三为主的油源。曹妃甸2-1潜山直接披覆沙一段,沙一段源岩生成的原油可近距离充注至潜山储层中,为披覆式的源储对接成藏模式。曹妃甸1-6油田上覆为东营组,其丰度与热演化程度低,主要作盖层。歧口凹陷的原油侧向通过砂体运移侧向充注至曹妃甸1-6潜山圈闭中,表现为侧向砂体输导油气成藏特征。通过岩心观察和铸体薄片实验分析了CFD2-1-2井潜山风化壳结构特征,揭示了沙西北地区潜山风化壳结构可能不具备侧向长距离输导油气的能力,与潜山直接披覆接触的有效烃源岩或者发育沟通源储的砂体是潜山油气成藏的基础。     

四川盆地龙门山北段隐伏构造带特征及其油气勘探意义

2014年以来,四川盆地西北部(以下简称川西北)龙门山山前带双鱼石地区上古生界天然气勘探获得重大发现,先后在中二叠统栖霞组、中泥盆统观雾山组钻获多口工业气井。随着勘探工作的稳步推进,深入开展龙门山逆冲推覆构造前锋带—山前带构造特征研究,是认识该区上古生界气藏特征、拓展油气勘探领域的重要前提。为此,基于新部署的线束三维地震、重磁电资料以及ST9等井的实钻成果,解剖了龙门山逆冲推覆构造前锋带—山前带的构造特征,进而分析了该区隐伏构造带的构造特征、天然气成藏条件和勘探前景。结果表明:(1)龙门山逆冲推覆构造前锋带(1)号隐伏断裂之下发育大型隐伏构造带,其地层受挤压褶皱变形,发育下三叠统嘉陵江组以下的海相地层;(2)由南到北(1)号断裂底部滑脱层位由浅变深,从南部的寒武系滑脱,向北部逐渐转换为基底卷入,古生界及其以上地层整体抬升,越向北抬升幅度越大,断裂上下盘之间的位移距离、褶皱幅度也越大,北部相对南部上古生界构造整体抬升约1 500 m;(3)在剑阁以西—广元地区,(1)号断裂东侧整体表现出"三级台阶"的构造格局。结论认为:龙门山逆冲推覆构造前锋带(1)号断裂下盘隐伏构造带面积达1 800 km2,具有优越的天然气成藏条件,其中观雾山组和栖霞组储集条件、保存条件好,是川西北深层海相层系天然气勘探拓展寻找新突破的重要领域,具有现实的油气勘探意义。     

Si外延过程中图形漂移的研究

给出了图形漂移的定义,综合介绍了埋层外延中图形漂移的监测方法,其中包括常规的磨角染色法和无损伤测量垂直和平行于参考面两个方向上图形线宽的变化比例法。结合不同面上的原子密度的不同,分析各晶向上生长速率的差异,解释了不同晶向上不同的生长速率是造成图形漂移的根本原因。通过比对常压和减压外延的机理,明确了Si源中氯类物质的存在是导致图形漂移的必要条件。结合Si外延过程中对图形漂移的影响因素,分别指出了衬底晶向、淀积时反应室压力、生长速率和生长温度、HCl对Si片表面腐蚀量、Si源等6个参量和图形漂移的关系,并给出了6个参量的优化方向。     

Highly conductive buried n+ layers in lnp:fe created by MeV energy Si,S, and Si/S implantation for application to microwave devices

To obtain highly conductive buried layers in InP:Fe, MeV energy Si, S, and Si/ Simplantations are performed at 200°C. The silicon and sulfer implants gave 85 and 100 percent activation, respectively, for a fluence of 8 × 10¹⁴ cm⁻². The Si/S co-implantation also gave almost 100 percent donor activation for a fluence of 8 × 10¹⁴ cm⁻² of each species. An improved silicon donor activation is observed in the Si/S co-implanted material compared to the material implanted with silicon alone. The peak carrier concentration achieved for the Si/S co-implant is 2 × 10¹⁹ cm³. The lattice damage on the surface side of the profile is effectively removed after rapid thermal annealing. Multiple-energy silicon and sulfur implantations are performed to obtain thick and buried n⁺ layers needed for microwave devices and also hyper-abrupt profiles needed for varactor diodes.     

裂缝性潜山油藏储集层识别与预测

埕北30太古宇为裂缝性潜山油藏,裂缝是其主要的储集空间和流体运移通道。裂缝性储集层识别与预测是这类油藏描述的核心和关键。为此,岩心、录井、测井、试井结合建立了储集层划分和分类标准,识别描述了井点储集层的分布;以井点储集层为约束条件,应用三维地震反演技术,预测了埕北30潜山太古宇油藏的储集层三维空间展布。     

潜山沉积环境图及潜山成藏条件分析

“潜山沉积环境图” 是能够比较全面反映潜山石油地质特征的综合性图件, 其其体制图才法和步骤是: ① 编绘潜山任性面项界几何形态;② 进行室内“ 地质琪图”;③确定潜山土披盖层的分布范围; ④确定生油区。经过区域探井标定的, 具有一定精度的地哀叠加偏移别面是编制“潜山沉积环境图”的基拙资料。70 年代末期这些方法曾用于渤海湾盆地西部的潜山成藏条件研究, 取得了一定的效果。