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GaN-MOCVD设备反应室流场的CFD数值仿真 总被引:11,自引:2,他引:9
采用计算流体力学方法对生长半导体材料GaN的重要设备MOCVD(金属有机物化学气相沉积)反应室中的流场结构进行了三维数值仿真.数值模拟采用基于非交错网格系统的SIMPLE算法,用有限体积方法对控制方程进行离散,并采用改进的压力-速度耦合方法进行求解.数值仿真给出了具有复杂几何结构和运动方式的GaN-MOCVD反应室中的流场结构,研究了改变几何尺寸和运行参数对MOCVD反应室流场结构的影响,对正在试制开发中的MOCVD设备的几何结构的改进和运行参数的优化提出了指导性建议. 相似文献
102.
虚拟演播室是传统视频技术与计算机虚拟现实技术相结合的产物 ,它可以把现场视频与计算机影像等实时、无缝地合成在—起 ,是对传统电视演播室的一次重大变革。主要讨论虚拟演播室的工作原理、功能及其应用 相似文献
103.
104.
求解二维结构-声耦合问题的一种直接方法 总被引:1,自引:1,他引:0
本文基于传递矩阵法(TMM)和虚拟边界元法(VBEM),提出了一种求解在谐激励作用下二维结构-声耦合问题的直接法。文中对任意形状的二维弹性环建立了一阶非齐次运动微分方程组,便于用齐次扩容精细积分法求解,对于含有任意形状孔穴的无穷域流体介质的Helmholtz外问题,采用复数形式的Burton-Miller型组合层势法建立了虚拟边界元方程,保证了声压在全波数域内存在唯一解。根据叠加原理并结合最小二乘法,提出了一种耦合方程的直接解法,由于该方法不存在迭代过程,因而具有较高的计算精度和效率。文中给出了二个典型弹性环在集中谐激励力作用下声辐射算例,计算结果表明本文方法较通常采用的混合FE/BE法更为有效。 相似文献
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从移动通信业务的发展来看,传统的话音业务已经趋于饱和,而数据业务正蓬勃发展,并成为移动通信业务发展的趋势。为适应这一趋势,运营商利用移动数据网络平台并结合互联网为移动用户提供了更多更广泛的移动数据业务,例如移动用户可以通过无处不在的互联网对企业内部网进行远程访问。但这种直接的访问方式却给企业内部网 相似文献
109.
110.