低压气相沉积金刚石薄膜研究

低压气相沉积金刚石薄膜研究霍万库，李惠琪，李惠东（山东矿业学院）胡灼源，傅珍泰，刘福民（泰安市金属材料表面处理中心筹建处）金刚石是碳的一种同素异形体，人们很久以前就试图用石墨来直接制取金刚石。１９５５年，美国通用电器公司在世界上首次用高温高压方法成功...     

微波等离子体化学气相沉积的 a-Si∶H 性能研究

本文着重对微波等离子体化学气相沉积法高速沉积的 a-Si∶H 膜的物理性能进行评价研究.测量了沉积膜的光电性能、暗电导激活能、光禁带宽度、光吸收特性、沉积膜中悬键态密度以及氢含量等,并讨论沉积条件对膜性能的影响.结果表明,在沉积速率高达30～90(?)/s 情况下,膜的光电导(光照强度10~5Lux)与暗电导比值可达10~3～10~5,暗电导率从10~(-3)到10~(-11)((?)cm)~(-1),其激活能在0.23～0.88eV 之间(0～200℃温度范围内),光禁带宽度为1.40～2.20eV,氢含量约为2～20%.     

三维PDP放电过程数值模拟软件

介绍了三维PDP放电过程模拟软件，该软件可较真实地反映放电单元的实际情况，对放电性能进行优化设计，且具有通用性强、界面友好、使用方便、功能完善等特点。可对不同结构、不同气体成份、不同驱动电压及波形等情况进行计算。     

等离子体浸没式离子注入-离子束增强沉积TiN膜研究

本文采用一种新型的等离子体浸没式离子注入 离子束增强沉积的技术(PIII IBAD),在Cr12MoV钢基体上制备出了TiN膜,对沉积膜的组织进行了光电子能谱分析,并对沉积膜进行了硬度检测、摩擦试验及磨痕形貌分析。试验结果表明,沉积膜中的组织为TiN、TiO2和Ti2O3,TiN膜具有高达Hv3200的高硬度和极其优良的摩擦性能。     

立方氮化硼表面硬化层的制备及性能

用渗硼和新型的等离子体浸没式氮离子注入技术（PⅢ）对Cr12MoV钢进行复合处理，制备出了含有立方氮化硼的表面硬化层。经X光电子能谱和X射线衍射分析发现硬化层中的组织主要是立方氮化硼（c-BN）、六方氮化硼（h-BN）、FeB和Fe2B。在与单独渗硼处理的Cr12MoV钢试样进行对比时，对立方氮化硼表面硬化层进行了维氏显微硬度和滑动摩擦试验。结果表明：硬化层具有高达48GPa的高硬度和优良的摩擦性能。     

等离子气相沉积金刚石的试验研究

利用直流等离子体化学气相沉积方法，以较高的沉积速率（＞１００μｍ／ｈ）生成了金刚石。所用原料气体为酒精或石油液化气、氢气以及氩气，沉积基片为钼片。整个沉积过程在３００Ｔｏｒｒ左右压力下进行。利用ｘ射线衍射及喇曼散射谱检测证明所获得的金刚石具有高的质量。利用该方法强化刀具表面在采矿等行业有良好的应用前景。     

Instructions to Contributors

Plasma Science and Technology ( ISSN 1009-0630, CN 34-1187/TL ), an English journal of the Institute of Plasma Physics, the Chinese Academy of Sciences (ASIPP) and the Chinese Society of Theoretical and Applied Meohanics, accepts papers about new achievements and phase results of plasma physics. Specific interest areas     

烤烟，白肋烟和香料烟（Nicotiana tabacum）烟叶中镉浓度的调查

镉（Cd）是一种被国际癌症研究机构归类为已知的人类致癌物质（Class 1），也是烟草制品中潜在的致癌物质之一。在诸如烟草（Nicotiana tabacum L．）之类的作物植株中镉的积聚可导致人类接触到镉金属。利用感应耦合等离子体-质谱法，我们对来自不同国家的3种主要烟草种类（烤烟，自肋烟和香料烟）的755个烟叶样本中的镉含量进行了测定。其目的是对来自不同地理区域的烟叶中的镉积聚模式进行鉴别。