现代光制造技术方兴未艾

利用激光或各种途径产生的受激辐射作为能源 (光源或热源 ) ,通过与物质的相互作用 ,按一定要求进行的加工或成形 ,统称为光制造。这里“光”主要指激光。近 2 0年光制造技术已渗透到高新技术领域和产业 ,并开始取代或改造某些传统的加工行业。1 光制造技术的优势光制造技术与传统制造比较优势 :光制造技术是一种符合可持续发展战略的绿色制造技术。例如 :材料浪费少 ,在规模生产中制造成本低 ;在生产流程自动化、大规模制造中生产效率高 ;可接近或达到冷加工状态 ,实现常规技术不能执行的高精密制造 ;对加工对象的适应性强 ,且不受电磁干…     

光刻系统层间套刻精度的评估

<正> 每一代新的半导体芯片都具有更精细的结构。因此,生产线通常也就需要更新的光刻设备。为组建经济实用的生产线,就必须考虑几个因素,其中很多因素在一定程度上很容易从可选设备的指标中看到,但另一些因素却比较复杂,仅从技术指标中不易得到。 本文论述最为复杂的光刻要求,即层间套刻精度O/L。O/L是很复杂的,它不仅受设备特性的影响,还受掩模精度、对准标记质量、甚至受由工艺引起电子形变的影响。由于这种多重的依赖性,尽管O/L经常出现设备手册中,但却不能只定义为设备的特性指标。     

触摸屏技术：一种触觉的体验

随着成本的下降和收益的提高,提供触觉输出在应用中越来越多。虽然我们大多数人利用视觉与听觉与计算机交互,但某些情况下,最合适使用的是触觉。今天,计算机技术正越来越多地认识到这一点,并开始采用触觉技术。触觉在希腊语中的意思是“抓或摸”,这里是指设备产生可被感觉到(而不是被看到     

"无侧隙"齿轮传动在印刷设备中的应用

本文提出了“无侧隙”齿轮传动技术，并以轮转式印刷机为例介绍了“无侧隙”齿轮传动技术的原理和设计方法，总结和推导出了齿轮加工的修正公式。     

相控阵天线波束指向精度的测试方法

采用相频扫天线阵的雷达，在雷达会标系上波束批向精度的测量和校准问题，在我所几种相关雷达型号的研制中，有过不同的实践，碰到过不同的问题，存在着不同的理解认识。如果能通过讨论，从理论上搞清这个问题，严格推导出上述转换关系，并结合相阵及其在雷达中的具体应用要求，寻找出合理的指向精度测量方法，同时定时地给出该方法的原理误差，对于提高和统一我们在这个问题上的认识，指导今后研制工作的实践，具有一定的现实意义。     

有机气体纯度定值方法的研究

介绍了CH_4、C_2H_6、C_2H_2、C_2H_4、C_3H_6、C_3H_8六种气体纯度分析的方法。该方法包括分析纯气中的杂质来源,确定纯气中的主要杂质,选择难分离杂质对的分析方法及杂质分析的定量方法。根据误差传递公式,准确分析了本方法对各种杂质测量的不确定度。     

浅谈抛物面天线的拼装与天线面的精度

天线被广泛应用于通信、导航、定位、雷达、射电天文、卫星广播电视等国防军事、国民经济的各个领域中。作为天线主体之一的天线结构,对保证整体的电气性能发挥着极其重要的作用。