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本征吸除硅片特性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文描述硅本征吸杂片的特性参数,如吸除区宽度、洁净度,氧沉淀密度、MOS电容寿命,介绍了表面态密度及残余间隙氧浓度的检测方法和工艺对参数的影响及参数之间的内在联系,文章还实验论证了不同参数水平对器件成品率的影响,建立了以MOS电容寿命为主导的参数控制方法,利用本文提供的控制参数,可使CCD-512器件成品率达60%,以上优品率≥85%。 相似文献
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本文深入讨论了脉冲啁啾的非线性起源及其对干涉相关测宽(等值宽度和条纹计数)法的影响。提出根据干涉相关曲线下包络最大值位置适当降低等值宽度位置和用计算机平均处理干涉相关信息的技术以消除啁啾的影响。 相似文献
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电力电子技术水平的高低,直接决定了企业生产力发展的水平。为此论述了电力电子技术的基本功能以及在节能节电中的作用;结合鞍钢实际,探讨了大力采用电子技术,加快鞍钢改造与建设步伐的途径;指出了鞍钢各厂具体的节能措施;阐明了电力公害的危害性及应采取的对策。 相似文献
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