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102.
提出了溅射-气体-聚集共沉积制备金属/金属(介质)复合团簇镶嵌薄膜的新方法,并利用该方法成功地在方华膜衬底上制备了系列Fe/Ag及CaF2复合团簇镶嵌薄膜样品。透射电镜分析结果表明,样品中Fe(Cu)团簇都较好地镶嵌于Ag(CaF2)基质中,其结构为两种材料的多晶共存形态。进一步分析发现,与块材相比,Fe/Ag样品中Fe团簇晶格常数呈现出不同程度的收缩,而Cu/CaF2样品中Cu团簇晶格常数则呈现出不同程度的膨胀。运用附加压力的模型对该现象进行了解释。 相似文献
103.
首次采用叠加能量离子注入技术制备C^+注入SiO2薄膜样品,室温下观测到很强的蓝光发射。通过测量样品的光致发光谱对退火条件的依赖关系,研究了样品的发光特性。对发光机制进行了初步探讨。 相似文献
104.
105.
106.
107.
沉积在Pt电极上的铁电PZT薄膜特性 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了射频磁控溅射沉积在Pt电极上的Pb(Zr0.53Ti0.47)O3薄膜特性。经过不同温度退火处理后得到了钙钛矿结构的PZT薄膜。在对其结构的形成和变化进行研究的基础上,探讨了薄膜PZT相的形成机理。其电性能的测试表明,这种铁电PZT(53/47)薄膜具有较好的铁电性能和疲劳特性。在600℃下PZT薄膜的剩余极化强度Pr为24.8μC/cm2,矫顽场强度Ec为70kV/cm。210kV/cm的电场下,疲劳循环直到4×108次时,最大极化强度仍有20.6μC/cm2,降低了约34%,其剩余极化强度保持为10μC/cm2左右。 相似文献
108.
采用离子束增强沉积(IBED)技术,在不同能量氮离子的轴助轰击下制备了Cr-N薄膜,通过SEM观察、XRD分析和显微硬度测定,发现离子轰击能量对Cr-N薄膜的表面形貌、相组成和硬度有显著的影响;随着能量的升高,膜表明形貌由岛形颗粒状转变成蜂窝状;一定能量轰击下获得的Cr2N和CrN混相结合有最高的薄膜硬度;高达16keV的氮离子轰击可诱发非晶化的出现,并对膜有一定的强化作用。在此基础上探讨了离子轰 相似文献
109.
离子束辅助沉积技术及其进展 总被引:9,自引:0,他引:9
本文介绍了离子束辅助沉积技术的基本原理,主要工作特点,设备及主要影响因素,综 利用该技术在制备各种新膜层方面研究的新进展,并指出该技术的不足及未来发展方向。 相似文献
110.
薄膜干涉型光学全通滤波器的设计与分析 总被引:1,自引:0,他引:1
设计并分析了用于多信道色谱补偿的薄膜Gires-Tournois干涉仪(GTI)型光学全通滤波(OAPF),讨论了反射镜的膜层结构对器件 的群延迟谱和反射谱的影响,。以及大角度入射引起的偏分离现象和幅度畸变现象,给出了单级和多级串拉OAPF的初步设计结果。 相似文献