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分析了双离子束溅射镀膜机的设备原理、功能层次,参照《GJB/Z57维修性分配与预计手册》中的相关要求,根据各部件的故障率和维修经验数据,对双离子束溅射镀膜机进行维修性分配与预计。 相似文献
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通过分析52Cr原子光刻对激光系统的技术要求,详细介绍了一种基于原子束激光感生荧光(LIF)光 谱技术的稳频方法。 相似文献
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To handle the thermal budget in SiGe BiCMOS process, a nonselective graphic epitaxial technology using molecular beam epitaxial (MBE) has been developed. SEM, AFM, XRD, and dislocation density measurements are carried out. The SiGe film's RMS roughness is 0.45nm, and dislocation density is 0.3×103cm2~1.2×103cm2. No dislocation accumulation exists on the boundary of the windows; this indicates the high quality of the SiGe film. The experiment results show that the technology presented in this paper meets the fabrication requirements of SiGe BiCMOS. 相似文献
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Terry Yuan-Fang Chen 《Microelectronics Journal》2009,40(1):53-247
The effect of interactive damping on the flexural vibration frequency for the scanning near-field optical microscope (SNOM) fiber probe based on the Timoshenko beam theory, including the effects of shear deformation and rotary inertia, has been analyzed. In the analysis, the effects of the transverse contact stiffness, damping factor and the ratio of different probe dimensions on the damping vibration frequency were studied. The results show that increasing the ratio of probe length to radius increases the damping vibration frequency of mode 1. Besides, the damping vibration frequencies, based on the Bernoulli-Euler beam theory and the Timoshenko beam theory, are compared. When the contact stiffness is very large for the higher modes, the effects of shear deformation and rotary inertia on the frequency becomes significant. Furthermore, increasing the damping factor increases the vibration frequency. The trend is more obvious, especially dimensionless damping factor ηf>0.4. 相似文献