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Hu Huiyong Zhang Heming Dai Xianying Li Kaicheng Wang Wei Zhu Yonggang Wang Shunxiang Cui Xiaoying and Wang Xiyuan 《半导体学报》2005,26(4):641-644
Strained Si1-xGex and Si materials are successfully grown on Si substrate by ultraviolet light chemical vapor deposition under ultrahigh vacuum at a low substrate temperature of 450℃ and 480℃,respectively.At such low temperature,autodoping effects from the substrate and interdiffusion effects at each interface could be suppressed efficiently.The strained Si1-xGex and multilayer Si1-xGex /Si structures are examined by X-ray diffraction,SMIS,etc.,and it is found that the materials have good crystallinity and the rising and falling edges are steep.The technique has a capability of growing highquality Si1-xGex /Si strained layers. 相似文献
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Shen Xiaoming Wang Yutian Wang Jianfeng Liu Jianping Zhang Jicai Guo Liping Jia Quanjie Jiang Xiaoming Hu Zhengfei Y 《半导体学报》2005,26(4):645-650
GaN buffer layers (thickness ~60nm) grown on GaAs(001) by low-temperature MOCVD are investigated by X-ray diffraction pole figure measurements using synchrotron radiation in order to understand the heteroepitaxial growth features of GaN on GaAs(001) substrates.In addition to the epitaxially aligned crystallites,their corresponding twins of the first and the second order are found in the Xray diffraction pole figures.Moreover,{111} φ scans with χ at 55°reveal the abnormal distribution of Bragg diffractions.The extra intensity maxima in the pole figures shows that the process of twinning plays a dominating role during the growth process.It is suggested that the polarity of {111} facets emerged on (001) surface will affect the growth twin nucleation at the initial stages of GaN growth on GaAs(001) substrates.It is proposed that twinning is prone to occurring on {111}B,Nterminated facets. 相似文献
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Ga掺杂ZnO薄膜的MOCVD生长及其特性 总被引:4,自引:1,他引:4
利用低压MOCVD技术在(0002)蓝宝石上外延获得高质量的ZnO∶Ga单晶薄膜,并研究了Ga的不同掺杂浓度对材料电学和光学特性的影响.当Ga/Zn气相摩尔比为3.2 at%时,ZnO(0002)峰半高宽仅为0.26°,载流子浓度高达2.47e19cm-3,透射率高于90%;当载流子浓度升高时,吸收边出现明显的Burstein-Moss蓝移效应.同时室温光致发光谱显示,紫外峰位随载流子浓度的增加而发生红移,峰形展宽,这和Ga高掺杂所引起的能带重整化效应有关.当Ga/Zn比达到6.3 at%时,由于高掺杂浓度下Ga的自补偿效应导致载流子浓度下降. 相似文献
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通过电气工程与自动化在化工生产中的应用,分析了电气工程与自动化在化工生产中存在的缺陷与问题,显示了电气工程与自动化应用的必要性,以此需要不断的提高电气工程与自动化技术,为化工安全、稳定的生产保驾护航。 相似文献
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介绍了超高真空化学气相沉积(UHVCVD)锗硅外延设备的加热室设计方法,完善了相关的炉体设计,相关温度指标达到设计标准。 相似文献
98.
研究了纳米级三氧化二铝颗粒的加入对以二氧化硅为磨料的碱性钨抛光液的影响。首先用单一因素法分析了三氧化二铝与二氧化硅质量比对原有碱性钨抛光液的去除速率的影响,以及氧化剂体积分数和pH值对抛光液去除速率的影响,取最优值,然后对添加三氧化二铝抛光液抛光后晶圆表面粗糙度进行了测试分析。实验结果显示在三氧化二铝与二氧化硅质量比为1∶2,二氧化硅水溶胶与去离子水体积比为1∶1,氧化剂体积分数为2%,pH值为9时,去除速率达到175 nm/min,较原有碱性钨抛光液提高约1倍,表面粗糙度为2.24 nm,能满足实际生产要求。 相似文献
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Jing Liang Xiao Hongling Wang Xiaoliang Wang Cuimei Deng Qingwen Li Zhidong Ding Jieqin Wang Zhanguo Hou Xun 《半导体学报》2013,34(11):113002-5
GaN films are grown on cone-shaped patterned sapphire substrates(CPSSs)by metal-organic chemical vapor deposition,and the influence of the temperature during the middle stage of GaN growth on the threading dislocation(TD)density of GaN is investigated.High-resolution X-ray diffraction(XRD)and cathodeluminescence(CL)wereusedtocharacterizetheGaNfilms.TheXRDresultsshowedthattheedge-typedislocation density of GaN grown on CPSS is remarkably reduced compared to that of GaN grown on conventional sapphire substrates(CSSs).Furthermore,whenthegrowthtemperatureinthemiddlestageofGaNgrownonCPSSdecreases,the full width at half maximum of the asymmetry(102)plane of GaN is reduced.This reduction is attributed to the enhancement of vertical growth in the middle stage with a more triangular-like shape and the bending of TDs.The CL intensity spatial mapping results also showed the superior optical properties of GaN grown on CPSS to those of GaN on CSS,and that the density of dark spots of GaN grown on CPSS induced by nonradiative recombination is reduced when the growth temperature in the middle stage decreases. 相似文献