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622.
本文报道了MOCVD技术制备的SnO2薄膜型气敏元件。这种方法沉积的SnO2薄膜耐酸碱性强,膜厚易控制,具有负温阻特性。测定了不同温度和不同气体条件下元件的特性发现该元件对乙醇、丙酮气体具有较高的灵敏度,响应时间快;而对氢气、乙烯、煤气、液化石油气等不敏感,因而具有一定的选择性。元件的稳定性较好。 相似文献
623.
624.
626.
以锡酸正丁酯(Sn(OBun)4)为前驱体,利用溶胶-凝胶工艺和CO2超临界干燥技术制备了透明和半透明的单块SnO2气凝胶.这些二氧化锡气凝胶密度小,孔隙分布宽,比表面积高.SEM分析表明,这种气凝胶由尺寸不一的如棉花团一样的团块堆积而成,团块之间为大尺寸孔隙(>50 nm),棉花团块内还具有细小的微孔(<2 nm)和介孔(<50 nm).TEM分析表明,在不同的放大倍数下,二氧化锡气凝胶具有相似的结构. 相似文献
627.
628.
利用等离子体化学气相沉积制备了SnO2导电薄膜,分析了膜的电学性能与沉积参数的关系,同时测得SnO2膜具有负温阻特性,这是一种N型半导体膜。 相似文献
629.
有机衬底SnO2:Sb透明导电膜的研究 总被引:8,自引:2,他引:6
采用射频磁控溅射法在有机薄膜衬底上制备出SnO2∶Sb透明导电膜,并对薄膜的结构和光电特性以及制备参数对薄膜性能的影响进行了研究.制备的样品为多晶薄膜,并且保持了纯二氧化锡的金红石结构.SnO2∶Sb薄膜中Sb2O3的最佳掺杂比例为6%.适当调节制备参数,可以获得在可见光范围内平均透过率大于85%的有机衬底SnO2∶Sb透明导电薄膜,其电阻率~3.7×10-3Ω·cm,载流子浓度~1.55×1020cm-3,霍耳迁移率~13cm2·V-1·s-1. 相似文献
630.
本文在洛阳浮法玻璃组成中添加一定比例的SnO2取代相同质量的SiO2,用粉末法测定各试样的耐水性。结果表明,在玻璃组成中添加2%左右的SnO2时,玻璃的耐水性有明显提高,为浮法玻璃的防霉提供了一条可能的途径。 相似文献