全湿法、无灰化的全新去胶技术

在集成电路（IC）制造中，需要多次重复去除掩模用光刻胶这一步骤，因此清洁、高效地去胶工艺非常重要。90nm高性能逻辑器件的制造过程使用超过30次光刻工艺。从晶圆表面去除光刻胶的能力在很大程度是由光刻胶性质和工艺历史决定的。在离子注入工艺中，图形化的光刻胶起掩模的作用，特别难以清除。大剂量的离子注入（〉1×l014ions／cm^2）将光刻胶表面脱氢并高度交联，其性能很像非晶碳。改性光刻胶的厚度由注入剂量、注入能量和注入离子种类决定。     

新产品

碳化硅处理技术；干法反应离子刻蚀设备；光刻胶剥离液／残留物去除液；桌面型加热炉；自动化清洗系统……     

B2O3对CaO基渣精炼的助熔作用和脱硫的影响

使用RTW-08熔体物性测定仪通过旋转粘度计法测定了熔渣的粘度.试验结果表明,B2O3和CaF2在46%CaO-10%BaO-11.2%SiO2-11.6%Al2O3基础渣系中的助熔效果相当;在CaO-SiO2-10%BaO-11.6%Al2O3-10%CaF2基渣的碱度(CaO+BaO)/(SiO2+B2O3)为2.5和2.8时,用B2O3替代1/4 SiO2后精炼渣高温熔化性能稳定,粘度值降低至0.3～0.5 Pa·s;碱度2.8时,含20.6%SiO2渣剂的脱硫率为85%(S含量由0.008%降至0.001 6%),而含10.3%SiO2-10.3%B2O3渣剂的脱硫率为91.3%(S含量由0.008%降至0.000 7%).     

含B2O3无氟连铸保护渣物理性能的研究

常规保护渣中配入的助熔剂一般是氟化物和Na2O,但二者都对环境产生严重污染。为此试验研究了含助熔剂B2O3保护渣及其熔点、粘度、结晶性能和表面张力等物理性能。试验表明，当保护渣碱度(CaO/SiO2)等于0．88，成分(％)为37．91CaO-43.09SiO2—5Al2O3—5MgO-2Li2O-7B2O3时的熔点909℃，熔化性温度1160℃，1300℃粘度值0．40Pa．s,1300℃表面张力值0．32N/m，能满足常规钢种和部分特殊钢种对连铸保护渣的使用要求。     

混炼胶粘度测量仪的设计

提出了一种在线测量混炼胶粘度的新方法。该方法以对角递归神经网络为基础,综合考虑混炼过程各因素对胶料粘度的影响,建立起胶料粘度的软测量模型。根据此方法,设计了以数字信号处理器(DSP)为核心的在线测量仪,并进行了现场试验,试验结果表明:与数学建模方法相比,该仪器能更好地实现混炼胶粘度的实时测量。     

麦草浆黑液降粘消除硅干扰的研究

针对麦草浆黑液蒸发难的问题，采用补加烧碱消除硅干扰从而降低粘度的方法改善其蒸发性能。实验结果表明：补加烧碱能降低黑液粘度60％左右，基本上消除了硅干扰。     

58℃石油蜡流动特性的研究

58℃石油蜡是由烃类组成的复杂混合物，它的流动特性不仅是所含组分及其化合物的综合表现，而且还与热历史、剪切历史等密切相关。从储存、管输58℃石油蜡的工艺设计和科学管理需要出发，考虑58℃石油蜡在工程实际中的温度范围内呈现的流动性。用58℃石油蜡的粘温特性、流变特性、凝点、屈服应力、触变性等5项物性指标，评价其基本流动特性。采用RV2旋转粘度计测定了58℃石蜡油在57－95℃范围的流动特性，当油温在70℃以上时，石油蜡为牛顿流体，油温低于70℃时，石蜡油为非牛顿流体，而且油越低非牛顿特性越强。58℃石油蜡的粘温关系与原油类似，其粘温曲线可分为放射段和直线段，但非牛顿特性强于原油。     

小麦B淀粉的性质

对实验室制备的小麦B淀粉的组分及其溶解度、透光度、凝沉性、粘度、热力学等性质进行了研究，比较了B淀粉和A淀粉在组分和性质上的差别，试验结果表明：小麦B淀粉中蛋白质、脂肪、戊聚糖等杂质含量高于A淀粉，B淀粉的沉降体积、膨润力和凝沉值大于A淀粉，而溶解度、透光率、粘度、相变温度和相变热焓低于A淀粉。     

环氧树脂灌封材料工艺性探讨

利用E-39D双酚A环氧树脂与酸酐固化剂METHPA、α—Al2O3填料及其他添加助剂，经机械共混固化后可得到具有优异电气性能和耐侯性能的灌封体系。探讨了影响环氧树脂灌封材料工艺性的各种因素；通过填料表面偶联处理实现了填料粒子在环氧基体中的良好分散，得出了具有良好工艺性的环氧灌封材料的工艺条件。     

静态混合器在生物多糖脱色中的应用

生物多糖为一种发酵产品,粘度可高达10Pa·s,属高粘度的非牛顿流体.它的脱色是通过与脱色剂的混合而实现的,常见的脱色过程为机械搅拌式间歇生产,能耗大且效果不佳.利用静态混合器可实现生物多糖与脱色剂的连续处理,混合时间短,能耗低、效果好.在脱色过程中,pH值、脱色剂用量及混合时间对脱色的效果均有影响.获得了相应的变化曲线以及压力损失的回归公式,找到了最佳操作条件.