CMOS自对准硅化钛工艺研究

形成硅化物的技术有多种：蒸发,溅射和化学气相沉积。文中对单靶溅射钛膜进行了研究。采用两步快速热退火工艺形成ＴｉＳｉ２,通过实验,得出了ＣＭＯＳ自对准硅化钛的工艺条件。     

基于寻北技术的测斜仪初始对准方法

在捷联惯导技术应用到石油采掘与矿井勘探领域的背景下,探讨如何使用低精度的惯性传感器获得精确的初始姿态信息。本文借鉴陀螺寻北仪的两位置寻北方案,研究了基于寻北技术的初始对准方法,利用该方法可滤除惯性传感器的常值漂移。仿真表明在使用低精度的惯性传感器条件下,利用该方法能获得较高精度的初始姿态信息。     

今年,你在中国拍照了吗?

2009年1 0月23日,PRIX PICTET全球环保大奖公布了获奖名单,以色列摄影师Nadav Kander凭借拍摄的《长江》系列获得大奖,在入围的其余1 1位摄影师中,还有一位中国摄影师姚璐和一位     

过渡金属作用下的金刚石石墨化机理研究*

从电子和原子角度解释了过渡金属对金刚石石墨化催化作用的机理,即过渡金属具有空d轨道,并且在某一面上与金刚石(111)面原子符合对准原则。为了验证此结论,基于第一性原理建立铬、铁、钴、钛、铂、铝、铜原子与金刚石原子的作用模型,进行仿真计算,得到不同过渡金属对金刚石石墨化的影响规律。仿真结果表明：Cr、Fe、Co、Ti、Pt作用下的金刚石结构出现不同程度的石墨化现象,而Al、Cu作用下的金刚石无石墨化现象。不同金属作用下金刚石原子结构的平面度由小到大依次为铁、铬、钴、钛、铂、铝、铜;碳原子间方差由小到大依次为铁、铬、钴、铂、钛、铝、铜;系统能量变化由大到小的顺序依次为铁、铬、钴、铂、钛。通过比较,铁、铬、钴原子对金刚石石墨化具有明显的催化作用,铂、钛原子有一定的催化作用,而铝、铜原子则无催化作用。当金属具有空d轨道且与金刚石在一定面上符合对准原则,未配对电子越多,金属对金刚石石墨化的催化作用越强;反之,当金属价电子层无d轨道或d轨道电子是充满状态时,金属对金刚石石墨化无催化作用。该研究为利用金刚石石墨化机理刃磨金刚石刀具提供了理论基础。     

基于不同坐标系下速度量测的捷联惯导系统晃动基座对准研究

为解决晃动基座下杆臂效应对捷联惯导系统对准的不利影响问题,以捷联惯导系统解算速度与杆臂速度之间的差值作为量测量,扩充杆臂长度误差为系统状态量,分别推导建立导航系和机体系下的量测方程,构成两种对准模型。分析两种对准模型的特点,指出导航系下对准模型仅适用于能够获得一定精度杆臂长度的情形。在此基础上,提出滤波参数反馈修正的滤波方法,以提高对准模型的适应性和对准精度。仿真实验验证了两种对准模型的正确性和滤波参数反馈修正滤波方法的有效性。     

低阻W/WN难熔栅技术研究

探索了新型难熔栅 W/WN工艺制备技术 ,通过 SEM,XRD,SIMS,XPS等手段对WN,WN/Ga As特性作了分析。结果表明 ,溅射气压和 N分压对 W,WN薄膜特性有着显著影响 ,通过工艺条件的优化 ,制备的 W/WN膜厚为 36 0 nm,方块分压为 0 .5 1Ω。利用Si O2 作为退火包封层 ,780℃ 10 s快速退火后 ,W/WN能够保持好的稳定性 ,在此基础上制备了肖特基二极管和自对准的 Ga As MESF ET。     

有电子束聚焦作用的场发射阵列

讨论了对发射电子束具有聚焦作用的场发射阵列 ,并制作了样管。为了抑制发射电子束的发散 ,采用电子束聚焦的方法。文中给出了三种结构的聚焦方案 ,开发的透明电阻层Ni SiO2 保证了聚焦孔的刻蚀精度     

低阻W／WN难熔栅技术研究

探索了新型难熔栅Ｗ／ＷＮ工艺制备技术,通过ＳＥＭ,ＸＲＤ,ＳＩＭＳ,ＸＰＳ等手段对ＷＮ,ＷＮ／ＧａＡｓ特性作了分析。结果表明,溅射气压和Ｎ分压对Ｗ,ＷＮ薄膜特性有着显著影响,通过工艺条件的优化,制备的Ｗ／ＷＮ膜厚为３６０ｎｍ,方块分压为０．５１Ω。利用ＳｉＯ２作为退火包封层,７８０℃ １０ｓ快速退火后,Ｗ／ＷＮ能够保持好的稳定性,在此基础上制备了肖特基二极管和自对准的ＧａＡｓ ＭＥＳＦＥＴ。     

监控对准采用的补偿对准测量法

补偿对准测量方法 (CALM )是视觉测量水平向、垂直向、旋转偏差及倍率误差等步进机对准可校正因素的一种新技术。CALM技术是根据已曝光在抗蚀剂中的线条间隙图形在显影之前 ,通过准确偏移光栅 1/2间距再次曝光 ,然后完全除去已曝光部分的原理建立的。采用这一原理已制作了直观显示可校正因素的试验片。CALM读数与盒中盒 (BB)测量比较的测算 3σ值精度为 0 0 3 μm。CALM读数与BB测量之间的线性度保持在± 0 13 μm误对准范围。采用此技术允许更频繁地进行基线校正。     

基于光功率探测的光纤熔接机光纤对准控制技术

为避免光功率过度损失,保证光纤信号的准确对接,研究基于光功率探测的光纤熔接机光纤对准控制技术。根据光功率探测原则调整光纤结构连接形式,联合本征因素、非本征因素的数值计算结果,实现基于光功率探测的光纤熔接损耗量统计。建立纤芯边缘追踪表达式,通过求解光纤拟合度指标数值,确定几何对准系数的取值范围,实现对光纤熔接机光纤的对准与控制处理。实验结果表明,基于光功率探测的控制方法可以将光纤信号对接角度偏差控制在15°之内,能够有效解决因信号对接准确度过低而造成的光功率过度损失问题。