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国外离子注入机发展动态随着超大规模集成电路的迅速发展,为适应中00、0.5μm工艺的需求,国外出现了多种新型的中束流、大束流、高能离子注入机,现将其现状介绍如下:新型中束流离子注入机大多采用平行束扫描方式、束的平行度优于0.5度。200mm晶片内注入... 相似文献
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1 什么是相关性?相关(correlation)指两个或多个随机变量分布内 ,各随机变量间的关系。相关是统计学中最重要的概念之一。从数学上来讲 ,相关是根据线性相关系数 ρ或其估计值r来考虑的。JJF1059—1999《测量不确定度评定与表示》2 22节对相关系数给出了以下定义 :相关系数是两个变量之间相互依赖性的度量 ,它等于两个变量间的协方差除以各自方差之积的正平方根 ,因此 :ρ(y,z)=ρ(z,y)=其估计值 :r(y,z)=式中v为协方差 ,σ为总体标准偏差 ,s为实验标准偏差 ,s(y,z)为v的估计值 ,称… 相似文献
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在对仪器进行校准时,往往要知道非典型点的测量数据及其测量不确定度。本文简要介绍了测量不确定度的概念及田口方法的原理,着重叙述了在己知典型测量数据的基础上如何利用田口方法推断出参数的校准公式以及相应的测量不确定度,并通过实例验证了其正确性和可行性。 相似文献
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为保证汽车万向节十字轴架的两项对称度要求(见图1),制定零件加工工艺规程时,需计算出正确的工艺尺寸。图3中两个尺寸链的计算结果一样,计算时可只建立其中任询一个。 相似文献
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山洪灾害预警准确度与及时度研究 总被引:1,自引:0,他引:1
山洪灾害预警准确度与及时度是一对相互矛盾而又联系的重要指标。文章通过对这两项指标的研究和对引发灾害的降雨强度、降雨以及灾害发生的时间资料进行分析,从而获取预警系统建设的基本技术要点和参数,对把握山洪灾害预警系统的设计定位、启用时机和作用评估具有重要作用和意义。 相似文献