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新型高k栅介质材料研究进展 总被引:5,自引:0,他引:5
随着半导体技术的不断发展,MOSFET(metal-oxide-semiconductor field effect transistor)的特征尺寸不断缩小,栅介质等效氧化物厚度已小至nm数量级。这时电子的直接隧穿效应将非常显著,将严重影响器件的稳定性和可靠性。因此需要寻找新型高k介质材料,能够在保持和增大栅极电容的同时,使介质层仍保持足够的物理厚度来限制隧穿效应的影响。本文综述了研究高k栅介质材料的意义;MOS栅介质的要求;主要新型高k栅介质材料的最新研究动态;展望了高k介质材料今后发展的主要趋势和需要解决的问题。 相似文献
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试验和实践证明,双粗纱纺纱技术对改善成纱质量及提高可纺性能有显著效果,对降低成料成本及消耗和指导实际生产、课题攻关有一定积极意义。 相似文献
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新兴的物流学理论是专门研究物质流动的技术和经济管理如何形成一个最优化系统的一门科学,文章着重阐述了物流学在总图工程学中的地位及应用,运用物流学,优化厂址和总图方案,提高设计水平,且经济效益和社会效益十分显著。 相似文献
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介绍了天线近场测量的基本原理和HD-1型平面近场测试系统,并对近场测量在实际天线测试中的应用情况、发展方向和应用前景等作了简单的描述。 相似文献
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田朗 《军民两用技术与产品》2005,(5):12
新西兰Pivotal工程公司推出了一款双冲程发动机“Pivotal Engine”,具有与4冲程发动机相媲美的喷射性能。 相似文献
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采用在UBET基本单元内截取基元体的方法,建立了理想塑性平面应变问题的速度场和上限功率表达式,为UBET基本单元速度场方程的建立提供了一种简捷的新方法。同时以开式模锻件为例进行UBET分析,并与相应的滑移线法进行了对比。 相似文献