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本文讨论了三种可变电容式电动马达的工作原理、设计和微细加工.它们分别是顶部驱动式、侧向驱动式和调谐侧向驱动式三种.这些微型马达的各自优点与不足之处也一并作了讨论.本文中讨论的这些微型马达都是通过表面微细加工的方式制得的.高掺杂的LPCVD多晶硅用作结构部分,牺牲层采用LPCVD氧化硅,而LPCVD氮化硅用作电绝缘.整个加工过程包括两次多晶硅淀积,两次氧化硅及两次氮化硅淀积等步骤. 相似文献
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80C196KB／KC单片机控制的伺服系统 总被引：3，自引：0，他引：3
本文介绍利用８０Ｃ１９６ＫＢ／ＫＣ单片机实现的直流伺服电机控制系统。本系统由８０Ｃ１９６ＫＢ／ＫＣ单片机，２７Ｃ６４存贮器，光学编码器及外部译码电路，电机驱动电路，限流电路，直流伺服电机等组成。文中还论述了系统主程序，软件定时器中断程序，位置／速度ＰＩＤ算法程序，目标速度计算程序，串行接收中断程序等。 相似文献
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微电机和微动力MEMS 总被引：4，自引：0，他引：4
微执行器是微电子机械系统是一个重要的分支，本文了微执行器中的微电机，微发电机和微涡轮发动机。 相似文献
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通过对小型电机主要生产技术的分析，希望国内生产小型电机的厂家在引进此类生产技术时，了解现阶段小型电机生产技术的状态，避免盲目引进，造成不必要的损失，同时使引进的生产技术接近现代先进水平。 相似文献
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