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多线切割工艺中晶片翘曲度的控制 总被引:1,自引:0,他引:1
翘曲度是鉴别晶片几何参数好坏的重要指标之一.采用逐点扫描法对多线切割制备的晶片翘曲度分布进行了测量.通过对切割线张力、砂浆使用次数、切割速度等影响翘曲度的主要因素进行实验分析,阐述了产生的原因,并得出了翘曲度的分布规律.针对影响翘曲度的主要因素,根据其分布规律调整相应的切割工艺条件,可较好地控制晶片的翘曲度.虽是针对Si单晶加工中出现的实验情况进行分析,但该结论完全可用于Ge、GaAs等其他晶体的加工中. 相似文献
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美国犹他大学研究人员采用线放电切割机(WEDM)切割锗片可用于制造低成本太阳能电池。这项工艺比一般圆锯切割产生较少残渣,而且晶片可切得更薄而不产生裂痕。代替圆锯的是一根特细的钼丝,有电流从其中流过。采用这种切割技术可以较低成本制造高效锗太阳能电池。一项应用多条平行带电细丝切割晶片的技术正在申请专利。 相似文献
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Hoffmeister 《照明设计》2009,(6):122-122
考虑到LED射灯固有的感光电子元件,有效的热量管理对于产品的成功非常重要。半导体晶片的温度越低,产品越高效和易于操作。对于天花射灯来说,热量管理问题还没有得到满意的解决办法,因为在封闭的天花板吊顶空间内散热的方法很有限。 相似文献
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美国英特尔公司与台湾积体电路制造股份有限公司于美西时间3月2日上午宣布签订合作备忘录,缔结双方在技术平台、硅智财架构及系统单晶片解决方案上的合作关系。根据此一协定,英特尔公司将移植其Atom中央处理器核心至台积公司包含了制程、硅智财、资料库与设计流程的技术平台。此次的合作,有助英特尔公司的客户更方便使用Atom系统单晶片,并借由台积公司多样的硅智财服务, 相似文献