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61.
国外离子注入机发展动态随着超大规模集成电路的迅速发展,为适应中00、0.5μm工艺的需求,国外出现了多种新型的中束流、大束流、高能离子注入机,现将其现状介绍如下:新型中束流离子注入机大多采用平行束扫描方式、束的平行度优于0.5度。200mm晶片内注入... 相似文献
62.
1993年5月30日,尚义煤矿大阳坡井根据作业布置,由四名电工将井下 770水平零槽大巷安装的开关及回柱绞车拆迁到一槽大巷。安装完毕进行试车时,控制开关接触器不吸合,于是打开开关盖进行检查,发现是由于开关移动过程中造成抽屉式芯架滑动,致使开关操作手把虽在合闸位置而隔离开关不能闭合。由一名电工进行处理,按正常操作程序第一次将芯架向里推,没有到位,接着推第二次,由于用的力量稍大些,在隔离开关旋钮与手把操动轴错位情况下引起隔离开关误闭合,造成开关手把虽在分闸位置,而芯架负荷侧却处于带电状态,而操作者在推动时,又恰逢双手分别紧握负荷侧两相电源的保险管,结果发生意外触电。触电后,检漏继电器动作,馈电开关掉闸,切断了电源。 相似文献
63.
甄汉生 《真空科学与技术学报》1993,(2)
微波电子回旋共振等离子体是淀积薄膜、微细加工和材料表面改性的一种重要手段。由于这种等离子体电离水平高,化学活性好,可以用来实现基片上薄膜的室温化学气相淀积和反应离子刻蚀,因此对于微电子学、光电子学和薄膜传感器件的发展,这种等离子体会具有重要的意义。此外,采用微波电子回旋共振等离子体原理,没有灯丝的离子源可以提高离子源的使用寿命,可以增加离子束的束流密度。可以确信,微波电子回旋共振等离子体的发展,将把离子源技术提高到一个新的水平。显然,这必将对材料表面改性工艺,包括离子注入掺杂等工艺的发展发挥作用。自从1985年以来,为了得到大容积等离子体而发展了微波电子回旋共振多磁极等离子体,这些技术在薄膜技术、微细加工以及材料表面改性中的应用前景是乐观的。我们将在本文中,介绍微波电子回旋共振等离子体的原理及其应用。 相似文献
64.
韩建博 《陕西水利水电技术》2002,(2):35-38
本文通过工程实例对中低闸坝枢纽水力设计中有关下游水位流量关系曲线确定、堰闸体型设计、泄水建筑物下游的水流衔接与消能等问题进行了探讨,提出了解决这些问题的方法与思路,对后续拟建工程或其它流域类似工程设计有一定的借鉴意义。 相似文献
65.
As压对LT-GaAs/AlGaAs多量子阱光学特性的影响 总被引:2,自引:0,他引:2
在衬底温度为 3 5 0°C的条件下 ,用分子束外延的方法 ,在不同的砷压条件下生长了 Ga As/Al0 .3Ga0 .7As多量子阱结构。 77K的荧光实验证明 ,砷压对样品的光学特性影响显著。认为砷压对低温多量子阱光学特性的影响是点缺陷随砷压的演化和能级间相互补偿的共同结果。通过优化砷压 ,样品的荧光峰的半峰宽减小到 3 me V,这是到目前为止所报道过的最窄的低温多量子阱的荧光峰。相应的垂直场光折变器件的电吸收为 60 0 0 cm 相似文献
66.
灌溉及节水型农业自动化控制系统研究 总被引:1,自引:0,他引:1
林志宁 《甘肃水利水电技术》2002,38(1):59-60
在水资源日益匮乏的今天,改革现有的农田灌溉方式,利用计算机先进的数据采集功能和控制技术,进行全面的科学管理和科学控制供水量。 相似文献
67.
68.
新型可调剪切差平行分束偏光器设计 总被引:4,自引:2,他引:2
本文给出了一种新型可调的切差平行分束偏光器设计。它调节方便,可获得较大平行分束剪切差,并可一镜多用 相似文献
69.
70.
紧贴保护体钢筋砼老闸墩控爆拆除 总被引:3,自引:2,他引:1
介绍了特大体积闸墩爆破拆除时爆破参数的选取和实施方法。新老闸墩一端仅隔4cm,利用钻孔爆破法拆除老闸墩取得了快速,经济,安全的爆破效果。 相似文献