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SiO2平面光波导工艺中的反应离子刻蚀研究 总被引:1,自引:0,他引:1
利用反应离子刻蚀工艺实现硅基SiO2平面光波导的刻蚀,研究了不同刻蚀条件对刻蚀速率、刻蚀选择比、刻蚀侧壁光洁度等刻蚀结果的影响,并首次研究了分别以无定形硅与多晶硅作为SiO2波导刻蚀掩膜对刻蚀垂直度的影响.利用改进的SiO2反应离子刻蚀工艺,得到了传输损耗极低的SiO2光波导. 相似文献
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通过化学气相沉积(CVD)聚合法合成了聚乙酰基对苯撑二甲基,采用红外光谱(FTIR)证实了二聚体和气相沉积聚合物的化学结构.与聚对苯撑二甲基聚合物相比引入乙酰基后聚合物的溶解性、介电常数和损耗因子均有所提高.将红外光谱与热重(TG)分析相结合研究了聚合物膜的热降解性能,表明聚乙酰基对苯撑二甲基的热降解基本上经历3个阶段,首先是乙酰基降解,接着是连接苯环的亚甲基,最后是苯环的降解.尽管聚乙酰基对苯撑二甲基的初始热降解温度低于聚对苯撑二甲基,但仍有普通热塑性高分子材料的热稳定性.聚乙酰基对苯撑二甲基是一类优良的、具有一定极性从而具有较好底物附着力的敷形涂层材料. 相似文献
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《农村电网建设与改造技术原则》(国电农[1999]191号),在无功补偿一章中提出:“积极推行无功补偿监测和自动投切装置。应采用性能可靠,技术先进的集合式、自愈式电容器”。 自愈式电容器是选用具有自愈性能的聚丙烯金属化膜作为电容器元件的介质和极板的。聚丙烯金属化膜不仅有高的工作场强和低的介质损耗特性,而且体积小、容量大、损耗少。所以,自愈式电容器性能优于油浸纸介质电容器,是一种具有发展前途的节能产品。 相似文献
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张爱军 《沈阳工程学院学报(自然科学版)》2004,6(4):18-19,25
分析了电机中铁心损耗的形成机理及其本质,讨论了直流电机电枢反应的去磁机理,明确了同步发电机准同期并列的含义,从而深刻理解有关基本概念。 相似文献