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《传感器与微系统》2019,(12):5-9
研究了使用两种大气压等离子体射流(APPJ)刻蚀Parylene-C薄膜所产生刻蚀区域的形貌和成分之间的差异。两种APPJ分别由单环电极装置和双环电极装置产生。由单环电极APPJ刻蚀的Parylene-C表面是非均匀的,从刻蚀区域的中心到边缘可分为三部分:区域(I)是中心区域,此处Si衬底严重受损;区域(II)是有效的刻蚀区域;区域(III)是刻蚀边界。与单环电极APPJ相比,双环电极APPJ刻蚀的Parylene的形貌要好得多。特别是在区域(I)中,Si片受到轻微损坏。X射线光电子能谱分析(XPS)结果表明:单环电极APPJ刻蚀区域的O元素原子含量多于双环电极。此外,还研究了两种APPJ的刻蚀速率,相比于双环电极APPJ,单环电极APPJ具有较高的刻蚀速率。 相似文献
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《固体电子学研究与进展》2015,(6)
针对纳米级工艺多指栅MOS晶体管的不同版图结构及其阈值波动的相关特性进行分析和研究。通过将基于Fujitsu 90nm工艺的三种不同版图结构实现的N型多指栅MOSFET器件阈值电压VTH作为工艺波动的研究对象,运用多元非线性回归算法对测试芯片进行系统工艺波动与随机工艺波动的提取和分析,并对与尺寸、版图结构相关的随机工艺波动特性进行了评估。测试结果表明三种版图结构中有源区共有结构具有最佳的电流驱动特性,有源区隔离结构抑制系统波动能力最优,折叠栅结构具有同尺寸器件较低的阈值电压并可以最有效地抑制随机工艺波动。 相似文献
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探讨了采用Hazelett生产线,从原料到合格铝液各道工序的操作要求;特别是采用电解铝液,对每道工序操作时间和铝液质量控制提出严格要求。通过实际生产,对现有熔炼炉配置、设备台数、精炼设备配置作了详细阐述,对每道工序要达到的铝液净化参数提出严格要求,经过6次净化提纯,基本满足Hazelett铸机要求,并对熔炼设备配置的不足提出合理化建议。 相似文献
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《吉林化工学院学报》2015,(11):45-49
驱动单元的驱动特性和可靠性决定管道机器人的工作效率及其工作能力,由于对管道机器人三轴差速驱动单元的优化大部分都由电脑仿真来完成,但是在制造、装配阶段还是会导致差速不准、功率过大等问题.因此本文通过对三轴差速器工艺的优化,解决了工艺当中的公差分配问题,降低了零件的工艺难度,建立了十字轴垂直度误差对啮合质量和轴向调正间隙的函数关系. 相似文献
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以铝合金YL113为研究对象,通过实验对比研究,可知铝合金在铸锻过程中的起锻时间值和锻造压力值都不宜取大或取小,当起锻时间值为6 s以及锻造压力值为90 MPa时,铝合金能获得相对最好的力学性能。另外,铝合金锻件再经过T6热处理,能增加其硬度值、抗拉强度值和屈服强度值,但会降低断后伸长率值。 相似文献