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化学气相沉积金刚石薄膜是近年来发展很快的一种新材料,着重描述了在减少薄膜的散射从而改善其光学性质方面的工作与成果,并介绍了它作为红外光学增透保护膜在上海宝山钢铁厂的应用。 相似文献
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对磁控溅射PZT铁电多层薄膜进行了分析。结果表明:通过多层薄膜合理的设计和厚度控制,可以改善薄膜进一步的器件应用提供了可能性。通过研究发现,制备多层较理想的溅射条件是衬底温度T=650℃,薄膜子层厚度约为300nm,衬底则以MgO(100)单晶、Si2(100)单晶为佳。结构分析的结果显示出:PZT以铁电膜中的晶粒排列整齐,颗粒大小均匀,基本上和衬底成定向织构,膜的角度对多层膜的绝缘性能影响不大, 相似文献