UV-LIGA深度光刻机平滑衍射技术研究

UV-LIGA深度光刻技术是加工微型机电系统的一项重要的微细加工技术。介绍了一种平滑衍射效应的位错强度叠加原理，它采用了蝇眼积分透镜去平滑衍射，并模拟数值计算了硅片表面的光强分布，最后给出了光刻结果。     

X射线衍射线形Fourier变换

采用计算机辅助实验技术，研究X射线衍射线开在仪器宽化修正过程中Fourier系数变化的规律及其影响，结果表明，只要实测线形接近Gauss 分布，Fourier变换就会导致弯勾效应；Forier变换可引起真实线形的尾部波动及大于实际值的宽化，引入边界条件可予以消除，Kα双线形经过Fourier变换后，Fourier纱数与真实Fourier系数存在着一定的差异。通过真实线形的Fourier变换可以修正。     

小型微/纳米级三坐标测量机的研制

介绍一套低成本小型三维坐标测量机的研制过程，作为微/纳米级超精密测量设备，整体机台结构采用花岗岩材料；X／Y轴的移动平台利用压电材料摩擦驱动与挠性变形原理，长短两行程可达25mm范围及5nm的微位移，藉自行研发的衍射干涉激光尺，位置回馈测量系统可具有0．025nm的分辨率；测量探头在一般DVD光读取头的自动聚焦原理基础上改装，最佳分辨率可达2．5nm，该雏形机适于测量微机电组件、微型器件及膜厚等。     

溶胶-凝胶生物玻璃多孔材料显微结构和生物活性的扫描电镜及红外光谱分析

本文利用溶胶．凝胶法制备了CaO-P2O5-SiO，系统生物活性玻璃，并以其为原料制备了用于骨修复及骨组织工程支架的块状生物活性材料。利用体外实验方法(invitro)结合x射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和傅立叶变换红外光谱分析(FTIR)技术对不同烧结工艺制备的材料结构、晶相和生物活性的影响进行了分析研究。研究表明，经800℃和1100℃烧结5min的两种材料均有硅磷酸钙Ca5(PO4)2SjO4微晶相析出。烧结温度越高，析出微晶相的体积比例越大，材料的生物活性则越低。在模拟生理溶液中碳酸羟基磷灰石(HCA)只在烧结体中的玻璃颗粒表面形成，而在其硅磷酸钙Ca5(PO4)2SiO4微晶相表面未发现HCA形成。     

弱导光纤的标量衍射光束特性分析

仿照罗兰圆光学系统构造罗兰球光学系统 ,在罗兰球中简化电磁波的瑞利 索末菲标量衍射积分公式 ,推导出折射率阶跃分布的弱导光纤LP模衍射场分布和空间频谱的计算公式。提出LP0 1模远场衍射分布存在类似于平面波圆孔夫琅禾费衍射艾里斑的中央亮斑概念 ,并给出中央亮斑角半宽度的计算公式。     

电控平行排列液晶光栅的光衍射特性研究

对电控平行液晶光栅的理论进行了分析,并配以结构原理图。通过对平行排列及90°扭曲排列液晶指向矢的计算,得出液晶盒中相应的折射率、相位差与电压之间的关系图,两者经比较证明平行排列更具适用性,并在实验中观测到了平行排列液晶光栅衍射特性与电压的关系。     

多晶薄膜及表面层的XRD分析方法讨论

对多晶薄膜ＸＲＤ分析的基本问题小角度衍射几何、非平行光束法和Ｓｅｅｍａｎｎ－Ｂｏｈｌｉｎ法的衍射几何强度计算，以及Ｐ－Ｂ法、Ｓ－Ｂ法对常规ＸＲＤ分析的适应性进行了分析讨论。并对多晶薄膜ＳＲＤ分析的当前进展、难点及发展作了分析。提出两种薄膜及表面层表片参量沿深度方向变化的情况下进行ＸＲＤ深度分析分布分析的新方法，该方法具有真实深度尺度和定量的特点，并可用于界面分析。     

桐油聚酰胺——酰亚胺结构与性能的研究

本文采用红外光谱分析，元素分析、X-射线衍射，差示扫描量热分析（DSC）、热重分析（TG）等测试技术。研究了不同温度下缩聚产物的结构与性能，结果表明，高温溶液缩聚反应得到的产物。分子量高，溶解性好，耐热性高。     

基于米氏散射及夫朗和费衍射的FAM激光测粒仪

提出了综合运用夫朗和费衍射和米氏散射，即在大粒径范围内采用夫朗和费衍射理论，而在小粒径范围内采用米氏散射理论，来改善小粒径范围内的测量精度，保证激光测粒仪在整个粒径范围内的测量精度。     

新型Ti－Ni牙齿矫形丝的相变

新型Ｔｉ－Ｎｉ牙齿矫形丝的相变孙序何勇健（北京有色金属研究总院１０００８８）关键词：Ｘ射线衍射相变形状记忆合金国产Ｔｉ－Ｎｉ牙齿矫形丝以其优良的超弹性用于牙齿矫形已多年，在临床使用中发现此材料尚有不足之处，如不易进行各种弯曲等，为此研制出一种新型Ｔｉ...