微悬臂梁谐振式气体传感器研究进展

微机械谐振式传感器已经成为微型机电系统(MEMS)领域的研究热点。讨论了微悬臂梁谐振式气体传感器的工作原理,介绍微悬臂梁表面修饰的关键技术、主要方法和基于微悬臂梁的谐振式气体传感器领域的研究状况以及近五年以来该领域的研究进展,并对基于微悬臂梁的谐振式气体传感器的发展方向和应用前景做了展望。     

不平衡电网下MMC控制策略

为了保障MMC-HVDC系统在不平衡电网下的稳定运行,需采取有效的不平衡控制策略。为此,提出一种改进的MMC不平衡控制策略。在正向同步旋转坐标系下,采用电流比例积分(PI)附加准降阶矢量谐振器(QROVRC)的控制策略,将负序电流指令值转换到正向同步旋转坐标下,实现对正、负序电流的统一控制。所提控制策略不需对电流进行正、负序分离,简化了控制系统。在MATLAB中搭建仿真模型进行仿真验证,结果表明改进的不平衡控制策略结构简单,抗电网频率偏移能力强,能较好地实现控制目标。     

一种宽带注入锁定三倍频器

文章提出了一种宽带注入锁定三倍频器。在传统注入方式基础上,倍频器采用了推-推差分对输入信号进行二倍频,并将产生的二次谐波通过变压器耦合至注入管的源极共模点,增强了注入管源极共模点二次谐波。由于注入电流是由注入信号与源极共模点二次谐波进行混频而产生,因此注入电流也被增强,从而增大了锁定范围。除此之外,三倍频采用了四阶谐振器,谐振阻抗的相位在过零点被平坦化,锁定范围进一步被增大。采用标准CMOS 65 nm工艺设计三倍频,芯片面积为720×670 μm²,1.2-V供电时的功耗为15.2 mW。0 dBm注入功率下三倍频的锁定范围为19.2~27.6 GHz,对应的基波抑制比大于25 dB,二次谐波抑制大于35 dB。注入锁定三倍频器可满足5G收发机中本振源的要求。     

三模混合集成小型化滤波器设计

提出了一种基于LC串联单元的三模混合集成小型化滤波器电路拓扑。该电路拓扑具有对称性,主体由4个LC串联单元所构成的“星型”结构组成,能够通过对其并联于地的LC串联单元中元件参数的调节实现对滤波器双零点的自由调节。基于奇偶模分析方法,给出了所提出滤波器拓扑的综合设计方法,并采用基于商业化硅基表贴电容的低成本混合集成技术研制一款具有明显小型化特性的三模多零点带通滤波器。所研制的滤波器仿真与测试结果吻合良好,其中心频率为2.6 GHz,3 dB带宽为1.34 GHz,插入损耗典型值为1.6 dB,能够在4～12 GHz的频带范围内实现30 dB的抑制能力,其面积尺寸为3.2 mm×1.9 mm(0.03λ0×0.02λ0)。     

MEMS-SAW陀螺仪研究

采用耦合模(COM)理论对声表面波(SAW)谐振器进行数字模拟,并采用梅森(Mason)正交场模型对陀螺仪和传感器进行模拟设计,最后对SAW谐振器和SAW传感器进行实验评价.这种陀螺仪具有额外的能力,可以作为无线陀螺仪和集成在SAW加速度传感器上.     

IDT推出全球首款针对高性能应用的压电MEMS振荡器

<正>近日,拥有模拟和数字领域的优势技术、提供领先的混合信号半导体解决方案的供应商IDT公司(Inte-grated Device Technology,Inc.;NASDAQ:IDTI)宣布推出全球首款针对高性能通信、消费、云和工业应用的     

微结构运动特性表征中的全场三维重建方法

微机电系统(MEMS)测试的主要目的是为工程开发中的设计和模拟过程提供数据反馈,其中一个重要方面就是MEMS器件运动特性的高速可视化。基于计算机控制的频闪干涉测试系统,文中提出了一种时间轴和空间轴双向解包裹的干涉条纹分析方法,实现了MEMS器件离面运动参数的精确测量,并与微结构平面结构图像模板相结合,可以进行MEMS器件全视场运动的分析,达到了纳米级分辨力。     

石英晶体谐振器电参数模型及时测量的影响

论文分析了用阻抗计法测量石英晶体谐振器时，晶体的实际电参数模型与理论模型的差别及其对电参数测量精度影响的数量关系，提出了提高测量精度的方法和设计。采用新技术和方法研制的晶体自动测试系统，负载谐振参数的测量精度显著提高。这一工作对提高阻抗计型晶体现测试系统的测量精度，特别是提高晶体负载谐振频率和负载谐振电阻的测量精度具有重要意义。     

声表面波传感器原理及应用

本文简要介绍了声表在波（ＳＡＷ）传感器的原理以及典型应用，并指出了其技术难点和发展方向。     

硫系玻璃狭缝波导微环的模拟分析

硫系玻璃材料在中红外波段具有高的透过率,成为制备中红外光波导光学传感器的首选材料。为了提高光与待测物的作用,减小器件体积,优化设计并分析了硫系玻璃狭缝光波导微环器件。通过COMSOL软件对狭缝波导进行了建模,为了减小高折射率衬底的影响、减小电极材料对红外光的吸收并避免共振吸收,优化了下缓冲层厚度、上缓冲层厚度、电极厚度。采用优化的狭缝波导结构,设计了圆形和跑道型硫系玻璃狭缝波导微环谐振器,优化了微环谐振器半径,分析了品质因数、自由光谱区、以及谐振光场分布等性能参数。分析结果显示,圆形微环谐振器具有更高的品质因数(28452),谐振峰更加尖锐,对光的选择性更好;而跑道型微环谐振器的自由光谱区更小(6.2nm),用电极调节谐振峰的波长时,谐振峰更容易和气体的吸收峰对齐,更适合于红外气体检测。