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新型的形状记忆合金/硅薄膜微驱动器 总被引:2,自引:1,他引:2
介绍了一种用硅微加工技术制作的NiTi/Si 薄膜结构的双向微驱动器。它利用NiTi 形状记忆合金薄膜(SMA) 大的相变回复应力和Si 衬底膜的反偏置力产生有一定位移量的双向运动。对NiTi 薄膜进行合理的图形化后使得驱动器位移量增大,双向效应显著,响应速度提高。同时图形化后的NiTi 膜也是加热电阻,使驱动结构简单,所需功率减少。驱动器实际驱动面积为3 ×3m m2 厚度为20μm 。可产生的最大位移为50μm ,最高驱动频率可达100Hz。驱动功率可减小到200m W。经过1000 万次振动后,驱动膜无开裂,性能正常。它已被成功的应用于压缩型微泵,该泵最大流量达340μL/min 。 相似文献
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Wearable and implantable bioelectronics are receiving a great deal of attention because they offer huge promise in personalized healthcare. Currently available bioelectronics generally rely on external aids to form an attachment to the human body, which leads to unstable performance in practical applications. Self‐adhesive bioelectronics are highly desirable for ameliorating these concerns by offering reliable and conformal contact with tissue, and stability and fidelity in the signal detection. However, achieving adequate and long‐term self‐adhesion to soft and wet biological tissues has been a daunting challenge. Recently, mussel‐inspired hydrogels have emerged as promising candidates for the design of self‐adhesive bioelectronics. In addition to self‐adhesiveness, the mussel‐inspired chemistry offers a unique pathway for integrating multiple functional properties to all‐in‐one bioelectronic devices, which have great implications for healthcare applications. In this report, the recent progress in the area of mussel‐inspired self‐adhesive bioelectronics is highlighted by specifically discussing: 1) adhesion mechanism of mussels, 2) mussel‐inspired hydrogels with long‐term and repeatable adhesion, 3) the recent advance in development of hydrogel bioelectronics by reconciling self‐adhesiveness and additional properties including conductivity, toughness, transparency, self‐healing, antibacterial properties, and tolerance to extreme environment, and 4) the challenges and prospects for the future design of the mussel‐inspired self‐adhesive bioelectronics. 相似文献
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Tengfei Qiu Bin Luo Eser Metin Akinoglu Jung‐Ho Yun Ian R. Gentle Lianzhou Wang 《Advanced functional materials》2020,30(31)
Metallic mesh materials are promising candidates to replace traditional transparent conductive oxides such as indium tin oxide (ITO) that is restricted by the limited indium resource and its brittle nature. The challenge of metal based transparent conductive networks is to achieve high transmittance, low sheet resistance, and small perforation size simultaneously, all of which significantly relate to device performances in optoelectronics. In this work, trilayer dielectric/metal/dielectric (D/M/D) nanomesh electrodes are reported with precisely controlled perforation size, wire width, and uniform hole distribution employing the nanosphere lithography technique. TiO2/Au/TiO2 nanomesh films with small hole diameter (≤700 nm) and low thickness (≤50 nm) are shown to yield high transmittance (>90%), low sheet resistance (≤70 Ω sq?1), as well as outstanding flexural endurance and feasibility for large area patterning. Further, by tuning the surface wettability, these films are applied as easily recyclable flexible electrodes for electrochromic devices. The simple and cost‐effective fabrication of diverse D/M/D nanomesh transparent conductive films with tunable optoelectronic properties paves a way for the design and realization of specialized transparent electrodes in optoelectronics. 相似文献
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随着微电子封装技术的发展,各向异性导电胶作为一种绿色的连接材料,广泛应用于电子产品中。文中主要介绍各向异性导电胶互连器件的粘接原理和影响其可靠性的各种因素,如粘接工艺参数、外界环境的干扰、各向异性导电胶的物理特性等。 相似文献
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为了分析溶胶-凝胶法制备的TiO2薄膜的光学常数,采用旋涂法制备了多层TiO2薄膜,利用扫描电镜对表面形貌进行了分析,利用椭圆偏振光谱对薄膜的折射率色散和孔隙率进行了拟合分析,并利用原位共角反射光谱对拟合结果进行了验证,得到了TiO2薄膜厚度、孔隙率和折射率色散曲线。结果表明,TiO2薄膜厚度与旋涂层数成线性关系,薄膜孔隙率约为15%且与旋涂层数无关,New Amorphous色散模型可以较好地拟合溶胶-凝胶旋涂方法制备的TiO2薄膜在1.55eV~4.00eV波段的椭偏光谱。该研究为溶胶-凝胶法制备的TiO2薄膜的光学常数测量提供了参考。 相似文献