首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
文章检索
  按 检索   检索词:      
出版年份:   被引次数:   他引次数: 提示:输入*表示无穷大
  收费全文   13495篇
  免费   1166篇
  国内免费   994篇
电工技术   437篇
综合类   490篇
化学工业   877篇
金属工艺   262篇
机械仪表   971篇
建筑科学   29篇
矿业工程   33篇
能源动力   121篇
轻工业   2499篇
水利工程   7篇
石油天然气   74篇
武器工业   146篇
无线电   3575篇
一般工业技术   4297篇
冶金工业   70篇
原子能技术   162篇
自动化技术   1605篇
  2024年   137篇
  2023年   305篇
  2022年   385篇
  2021年   474篇
  2020年   464篇
  2019年   462篇
  2018年   465篇
  2017年   588篇
  2016年   503篇
  2015年   503篇
  2014年   729篇
  2013年   818篇
  2012年   924篇
  2011年   1087篇
  2010年   753篇
  2009年   977篇
  2008年   749篇
  2007年   953篇
  2006年   997篇
  2005年   654篇
  2004年   572篇
  2003年   495篇
  2002年   367篇
  2001年   281篇
  2000年   196篇
  1999年   147篇
  1998年   114篇
  1997年   76篇
  1996年   68篇
  1995年   56篇
  1994年   64篇
  1993年   62篇
  1992年   70篇
  1991年   51篇
  1990年   39篇
  1989年   42篇
  1988年   8篇
  1987年   8篇
  1986年   3篇
  1982年   1篇
  1980年   4篇
  1962年   1篇
  1959年   3篇
排序方式: 共有10000条查询结果,搜索用时 11 毫秒
51.
永磁材料在微电子机械系统 (MEMS)器件中具有重要的应用价值 ,例如微型开关、微型继电器以及微泵、微阀中作电磁执行器等。本文介绍了CoNiMnP永磁体阵列的制备技术 ,给出了工艺制备的实验条件 ,并利用SEM分析了阵列的表面形貌 ,电子能谱分析了永磁材料组分。实验结果表明 ,得到了很好的CoNiMnP永磁体阵列结构 ,具有较高的矫顽磁力的材料组分比例 :Co 85 %、Ni14 %。  相似文献   
52.
研究MEMS微结构的片外机械式驱动问题 ,介绍了在MEMS硅芯片背面贴合一块宏观尺度PZT片的驱动思想即PZT产生机械运动 ,在硅固定件与微运动件之间产生动量耦合 ,从而驱动微运动件。重点探讨脉冲驱动、振动驱动两大类基本驱动方法及其特点 ,介绍国外代表性研究结果 ,并提出对该方法进一步研究的观点与设想。  相似文献   
53.
微机电安全密码锁的设计技术   总被引:1,自引:0,他引:1  
微机电安全密码锁是一类用于确保“要害系统”安全性的装置 ,也可称为微锁、微型组合锁、微型密码鉴别器或微型使用控制开关。本文重点介绍了微机电安全密码锁的基本功能单元 :即鉴别器机构、驱动器与能量耦合器 ,结合工作原理的分析 ,探讨了装置总体设计中应考虑的关键问题  相似文献   
54.
结合火控系统的发展趋势 ,说明了MEMS技术在火控系统中的应用 ,分析了MEMS技术在机械结构、系统性能以及体系结构等方面对火控系统的影响  相似文献   
55.
MEMS微型燃料电池及其基于压电风扇的换气方法   总被引:3,自引:0,他引:3  
介绍了基于MEMS的微型燃料电池的国内外研究动态,对其技术关键进行了阐述。在此基础上,对微型燃料电池的换气方法进行了研究。提出一种低功耗、体积小的压电风扇,对其力学模型进行了分析,并进行了风速、振幅、功耗等方面的实验研究,初步证明其应用于微型燃料电池换气的可行性。  相似文献   
56.
MEMS冷气推进器的制作及实验研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
介绍了一种两层结构的MEMS冷气微推进器的设计和制作。并从不同的膨胀比和喉部尺寸的角度,对微推进器的推力和比冲性能进行了实验测量。实验结果表明,所制作的微推进器可以达到的最大推力在3.3~4.9mN之间,比冲在51.0~66.3s。  相似文献   
57.
压电致动微喷的压力波特征分析   总被引:6,自引:0,他引:6  
提出了一种压电致动的阵列微喷,以面向吸入式药物治疗应用。该阵列微喷工作在器件的谐振点上,其工作性能决定于液体腔中的压力波的分布和大小。本文针对该类微喷建立了考虑压电-固-液耦合和压力波传播效应的等效模型,并利用有限元方法对整个器件的结构振动模态和压力驻波模态进行了分析。文章对不同振动模态下,液体腔中的声压力波分布以及对微喷设计的影响进行了讨论。  相似文献   
58.
武宇  方震  赵湛  陈超  张博军 《微纳电子技术》2003,40(7):583-585,589
微型化、集成化可以使得传感系统减少体积、重量,降低成本,提高系统的可靠性,具有重要的科学意义。本文设计了一个用于测量大气湿度、温度和气压检测微型集成传感器。考虑到MEMS加工工艺兼容性,分别采用空气导热检测法、铂电阻法和电容法对湿度、温度、压力进行检测,并且进行了理论计算,设计了加工工艺步骤,制作出雏形器件。  相似文献   
59.
利用硅单晶的特殊结构可以设计出不同角度的闪耀光栅,再使用MEMS的紫外光刻、各向异性腐蚀等常规工艺就可以完成硅闪耀光栅的制作。设计了一种利用偏转晶向(111)硅片制作小角度闪耀光栅的方法,避免了利用其它晶向的硅片制作闪耀光栅的缺点。利用这种方法制作了线宽为4μm的硅闪耀光栅,使用原子力显微镜(AFM)进行了光栅表面形貌测试,得到平均表面粗糙度为110.94nm,试验结果表明制作的硅光栅样片具有良好光学特性的反射表面和光栅槽形。  相似文献   
60.
MEMS的高能量密度驱动和IC高度集成使MEMS器件严生较强的热效应,影响了MEMS器件的稳定性和寿命。传统的致冷器与待致冷器件是相对独立的器件,无法满足MEMS器件局部有效致冷和系统集成的要求。介绍了一种新型铁电薄/厚膜MEMS微致冷器的原理和设计,探讨其作为MEMS致冷器的可行性,该致冷器可以在较大工作温度范围内,对基于IC硅工艺的MEMS器件和普通IC芯片进行致冷。  相似文献   
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号