光纤Michelson干涉仪干涉条纹对比度的研究

通过实验测定了光纤Michelson干涉仪输出的干涉信号,并由此计算了干涉条纹对比度.从条纹对比度的拟合曲线出发,分析了可能影响光纤干涉仪干涉信号对比度的主要因素,为实验中条纹对比度的进一步提高提供有益的参考.     

混联复合机床主旋转轴精度的光电检测与补偿

为了达到对混联机床主旋转轴精度准确评价的目的,采用单频激光干涉仪进行精度检测,并为机床主旋转轴定位误差的补偿做准备。针对干涉仪的测量原理进行了深入研究,分析了激光干涉仪在机床主旋转轴测量中测量精度的主要影响因素和误差补偿,提出了一种简便、可靠的检测方法。最后通过实验验证了设计的检测方案,取得了综合测量结果。     

外差激光干涉仪非线性的细分和消除

通过理论推导得到一个消除外差激光干涉仪非线性的理论,只要改变干涉仪的结构,也就是增加光程倍数,就可以减小激光干涉仪的非线性误差。实验证明,这个方法可以有效地减小双频激光干涉仪的各种非线性误差,不论这个误差是一阶的还是二阶的,也不论是什么原因引起的。它不仅适应于科学实验研究,而且也适应于工业精密测量应用,对纳米测试技术的发展具有实际意义。     

基于2×2和3×3耦合器的级联马赫-曾德干涉仪型波长交错滤波器

针对全光纤级联Mach-Zehnder干涉仪型(CMZI)波长交错滤波器在实际制作过程中存在的问题,提出了由一个2×2和两个3×3 单模光纤耦合器级联组成的全光纤CMZI型波长交错滤波器并进行了分析。分析结果表明:组成滤波器干涉臂的第二对臂长差为第一对臂长差的偶数倍时,耦合器分光比取一些定值可得到输出波形通带平坦、阻带加宽、透射率形态近似于方波的波长交错滤波器。与通常的CMZI相比,最大的优点是在实际制作时可以对每个耦合器的分光比进行准确的监测和控制,大大降低了CMZI型波长交错滤波器的制作困难。最后进行了实验研究,实验所得结果与理论结果相吻合。     

平晶表面形状加压分析判断法的原理与应用探讨

平晶表面形状的判断对于平晶平面度的计算非常重要，错误的判断将会直接导致计算错误。该文通过对加压分析判断法原理的介绍，讨论在实际检定工作中的注意事项。灵活掌握该方法不仅对于平晶检定工作，而且在使用平晶测量量具或工件表面平面度时都非常重要。     

Non-contact measurement technique for dimensional metrology using optical comb

This paper proposes a non-contact pulsed interferometer for dimensional metrology using the repetition frequency of an optical frequency comb. A compact absolute-length measuring system is established for practical non-contact measurement based on a single-mode fiber interferometer. The stability and accuracy of the measurements are compared with those from a commercial incremental laser interferometer. The drifts of both systems have the same tendency and a maximum difference is approximately 0.1 μm. Subsequently, preliminary absolute-length measurements up to 1.5 m were measured. The signal-to-noise ratios of the small signals are improved by a frequency-selective amplifier. It is apparent that the noise is rejected, and the intensity of the interference fringes is amplified, achieving a maximum standard deviation of measurement approximately 1 μm. The proposed technique can provide sufficient accuracy for non-contact measurement in applications such as a simple laser-pulse tracking system.     

用于多点测试的全光纤速度干涉仪研究

基于时分复用（TDM）原理，提出了一种新型的用于多点速度测试的全光纤干涉系统，通过同一个冲击靶面的测速实验验证方案的可行性。该系统通过在原有全光纤速度干涉仪（AFVI）的探测端口引入光纤耦合器和延迟线，由于延时的存在，被测点干涉信号之间在时间上存在相同的延时，利用时分复用原理，能够实现以往需要多套速度干涉仪才能实现的对测试靶面的多点测试功能。通过对同一个测试自由面上的两点进行测试，得到了具有一定时延的相似干涉条纹，而且延迟的时间与光纤延迟线对应。实验验证了系统设计的正确性。     

一种时域解调激光干涉仪调制信号的方法

针对某低频水平振动校准设备的激光干涉仪,利用NI公司的多功能采集卡,采集激光干涉仪的调制信号及与其同相位的电容式位移传感器的输出信号.根据激光干涉仪调制原理,提出一种时域解调调制信号的方法.根据调制信号条纹的时域特性和它被限幅的实际特点,利用labview软件实现了信号的解调,并将电容位移传感器信号作为参考信号,还原解调后信号的相位,从而得到振动台高精度的振动波形.实验证明,此方法对连续振动信号的解调效果良好,具有较好的重复性和稳定性,精度可达到激光干涉仪发射激光波长的四分之一.     

采用计量型扫描力显微镜校准微纳米标准样板

为了建立质量保证体系,微米和纳米样板至今仍被广泛地应用于校准微纳米尺度的测量仪器中．介绍了应用由德国联邦物理研究所开发研究的、测量范围为25 mm×25 mm×5 mm的计量型扫描力显微镜(M-LRSFM)的校准方法．上述计量型扫描力显微镜配置有三个零拍的激光干涉仪,可分别测量沿x、y、z三条轴线方向的位移,因而其测量值可直接溯源于“米”定义．此种M-LRSFM能够校准横向的微纳尺度的结构尺寸,诸如阶梯高度、一维和二维光栅、镀层厚度、线宽、微纳尺度的表面粗糙度等．作为实例,介绍了一种横向样板的校准程序及获得的校准结果．研究表明这种方法适合于校验扫描电子显微镜(SEM)的放大倍率．