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玻璃基板上激光微细熔覆直写电阻技术的研究 总被引:3,自引:5,他引:3
介绍了玻璃基板上激光微细熔覆柔性直写电阻的基本原理及其工艺.系统地研究了各工艺参数的变化对电阻阻值的影响规律。通过热作用、激光与物质的相互作用原理理论分析了电阻膜的形成以及组织、结构、性能间的关系.确立了制备电阻的最佳工艺参数和获得高精度、小误差电阻阻值测试的最佳方法。结果表明.采用该技术可以在无掩膜下通过调节电阻的形状、大小、体积以及激光加工参数.一步完成所需高精度、高质量、高性能电阻元件的制备和修复.不需要电阻的微调,工艺简单、灵活、速度快、成本低.具有广阔的应用前景。 相似文献
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Nowadays, electronic devices are required to be smaller, to have a high-density integration and to be of lower cost. In order to meet the developing demands, some new techniques have appeared in recent years. In this paper, a technique named laser micro-cladding electronic pastes is used to fabricate the thick film resistor and electrode units on insulator substrates without using a mask. The results demonstrate that the high-quality resistors could be fabricated by laser micro-cladding. However, the processing steps are very important since they have significant effects on the surface finish, the extent of diffusion between electrode film and resistor film, and on the reliability of the resistors. Laser micro-cladding electronic pastes may become a novel technique to fabricate high quality conductive lines (electrodes) and resistors with good properties that will come into industrial application in the future. 相似文献
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采用激光微熔覆方法制备了空芯薄膜电感,着重研究了激光功率密度对电感线宽影响,以及薄膜电感的结构参数变化对电感电性能影响。结果表明,线宽随激光功率密度增大而增大;电感量随着圈数增多、中心线间距增大、线宽变大而增大。通过优化激光工艺和结构参数,制备了面积5 mm×5 mm和9 mm×9 mm,线宽100 μm和120 μm,线中心间距250 μm和500 μm,圈数8和16,厚度1 μm的空芯回字型电感,在测试频率100 kHz~1 MHz条件下,电感量为240 nH±3 nH~1.2 μH±3 nH,单位面积电感量可达14.81 nH/mm2。通过实验证明,采用激光微熔覆法制备的微电感,在同样形状和面积下,可提高电感量。 相似文献
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激光直写制备厚膜导体技术研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用激光微细熔覆直写布线的方法在陶瓷基板上制备高密度厚膜导体。导体具有光滑平整的表面、高分辨率(最小线宽30 靘)、高附着强度、良好的电气性能,优良的可焊性,且不需要掩模,因此相比传统丝网印刷工艺更灵活更经济。研究了预置涂层厚度、激光功率密度和激光扫描速度对导体线宽的影响,提出了最佳工艺参数范围:涂层厚度4~15 mm,激光功率密度1~4.8 W/mm2,扫描速度<35 mm/s。所得线宽为30~150 mm。并分析了陶瓷板上激光直写布线的机理。 相似文献