自适应微反射镜阵列制作与性能测试

为了改善微反射镜存在的驱动电压高、驱动力小的缺点,基于双金属效应,制得可调焦微光学自适应阵列。以硅为基底,先后经过热氧化、光刻显影、HF酸刻蚀、KOH湿法刻蚀,溅射铝膜等微加工工艺,制得的4×4阵列,基底厚50μm,硅表面铝膜厚100nm。利用激光数字波面干涉仪对可调焦微反射镜的动态性能进行了测试。实验表明,在0~11V电压范围内,可产生最大7.91μm的连续变形。     

利用(110)硅片制作体硅微光开关的工艺研究

采用基于湿法腐蚀工艺的体硅微机械加工方法,利用(110 )硅片结晶学特性,通过光刻、反应离子刻蚀和湿法刻蚀等工艺,在硅片上同时制作出微光开关的微反射镜结构、悬臂梁结构、扭臂梁结构和光纤定位槽结构,器件的一致性好,制作工艺简单.利用扇形定位区域,精确地沿(110 )硅片的{ 111}面进行定向腐蚀,可使微反射镜镜面垂直度达到90±0 .3°,经测量表面粗糙度低于6 nm.     

一种非致冷光读出红外成像阵列器件的设计

提出了一种具有"双材料梁-微镜一体化"特征结构的光读出红外成像阵列器件.该特征结构集成了红外敏感、调制和输出读出可见光信号的双重功能.通过研究相关性能,完成了像素单元尺寸的优化设计.理论计算表明,其关键性能指标的热一机械灵敏度和噪声等效温差分别为2.14×10-3 rad/K和2.94 mK.     

金属尖端角度对表面增强拉曼散射的影响

金属尖端对于表面拉曼散射有增强的效果,但尖端的尖锐程度对于表面增强拉曼散射(Surface-Enhanced Raman Scattering, SERS)的影响很少有定量的报道。为了研究角度大小与SERS的关系,需要制备具有不同角度的结构。利用数字微镜设备（Digital Micro mirror Device, DMD）进行光学投影光刻制备了四组样品,分别具有30°60°90°120°角金属微结构,测量了这些结构对应的SERS谱,研究金属尖端角度大小对于SERS的影响。研究发现,锐角具有更好的表面增强拉曼散射效果,而且增强效果对角度依赖强烈,角度越小增强效果越明显;钝角情况下,SERS对于角度大小依赖的敏感度下降。     

用于高精度小尺寸零件制作的光固化快速成型技术的现状与发展

用于高精度小尺寸零件制作的光固化快速成型技术源于快速原型技术 ,利用光诱导树脂固化 ,实现逐层堆积的原理制作零件原型。本文回顾了近年来该领域中开发出的主要工艺方法、原理及系统构成 ;本文还提出了以变形反射镜器件为核心构建新型动态视图发生器 ,采用整层曝光固化工艺实现原型快速制作的新方法。和其它方法使用的动态视图发生器相比 ,本文提出的新型动态视图发生器具有更高的分辨率和更高的对比度 (可达 10 0 0∶1)。     

高速MEMS扫描微镜动态变形特性研究

扭转镜面的动态形变是影响显示成像用MEMS扫描微镜光学分辨率的主导因素,研究了高速转动的MEMS扫描微镜的动态形变特性,得到了相关有用的结论。结果表明当MEMS扫描微镜镜面几何尺寸一定时,如果要获得系统衍射极限光学分辨率,需要对转动频率,扭转角度和镜面厚度进行优化设计和选择,简单通过增加镜面厚度保证光学分辨率的方法不利于MEMS扫描微镜综合性能的改善和提高。     

自组装方法制作三维微纳米结构现状与展望

MOEMS在很多领域有着潜在的应用,然而制作三维MOEMS是一个很复杂的过程。利用晶格失配的外延层自组装制作三维微纳米结构是一种很有发展前景的方法。该方法主要应用由于应变层中晶格常数不同而带来的应变效应。利用这种技术可以完成在同一平台上自组装不同元件,在MOEMS中有广阔的应用前景。我们分析了该技术存在的问题并对今后发展前景进行了展望。     

先进的ME MS封装技术及应用

介绍了ME MS封装技术的特点和发展现状,重点介绍了圆片级、单片全集成级、MCM级、模块级、SIP级等几种很有前景的封装技术在实际中的应用,并且对ME MS封装的发展趋势进行分析.     

一种基于压电薄膜逆压电效应的新型集成微镜

设计了一种采用锆钛酸铅(PZT)压电薄膜悬臂梁作为驱动机理的500μm×500μm微镜结构。该微镜主要由4个悬臂梁与1个反射镜组成,4个悬臂梁起支撑微镜的作用,即微镜主要利用微悬臂梁自由端头的小挠度来实现垂直方向的位移。提出了与互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺相兼容的制作方法,利用有限元软件ANSYS7.0对压电微镜的反射镜平整度、结构机械强度、线性度、响应速度和功耗等性能进行了研究,并与数值计算结果进行了比较,结果表明此微镜达到了快速、高精度、低功耗的设计要求。     

Generation and Display System of Measurement Matrix Based on DMD

A measurement matrix is the key to sampling and signal reconstruction during the process of compressed sensing. On the basis of digital light processing (DLP) technology, a generation and display system of measurement matrix based on digital micro-mirror device (DMD) is proposed and well designed. In this system, the generation and controlling of measurement matrix are implemented on a PC, which reduces the hardware requirement to generate a random matrix and overcomes the difficulty of the hardware implementation for the random matrix. It can set up the display number of the measurement matrix, the mode of display and display time according to the requirements from users. The display information can be designed to complete the display of measurement matrix with a better adaptability. The system can be easily embedded into a variety of compressed sensing applications, which can be used to generate and display the corresponding measurement matrice with strong portability. In addition, the DMD of this system will be used as a spatial optical modulator to manipulate near-infrared light in a fast, accurate and efficient way in several applications such as in 3D scanning devices and spectrometers.