Electrochemical characteristic of chemical-mechanical polishing of copper with oxide passive film

1　INTRODUCTIONThankstoitslowresistivityandhighelectromi grationresistance ,copperappearstobeaverypromisingsubstituteforaluminumininterconnec tions[1] .However ,copperisverydifficulttopattern ,andonlychemical mechanicalpolishing (CMP)tech nologycanresolvethisproblem[2 ] .CMPwasinitiallyinvestigatedandopenedoutfrom 1980soverseas[3] ,anditisthebestandonlyglobalplanarizationtech nologyatpresent ,butkeepsholdofbusinesssecretsallthetime .Fayolleetal[2 ] researchedCMPprocessofcopperwhereFe(…     

硬脆材料专用ELID磨削液的研制

本文在已有新型通用ELID磨削液(HDMY-20型)的基础上，根据硬脆材料的磨削特点和ELID磨削过程中磨削液的电解修锐生膜缓蚀作用、结合通用ELID磨削液的研制经验．通过增添表面活性剂、稳定剂、防锈剂、油性极压剂和调整无机盐等成分的比例关系．优化出适合硬脆材料ELID磨削最佳状态的专用ELID磨削液。应用此磨削液磨削硬质合金表面粗糙度可达Ra0．007μm比通用型磨削液磨削的硬质合金Ra值降低了0．005μm。     

高技术产品用无源元件与中国钽工业发展

世界高技术产品市场总体看呈增长趋势，预计2020年销售额将比2000年翻一番。以高技术产品为主要应用领域的电阻、电容、电感等无源元件，也将随着高技术产业的发展呈现出良好的市场前景，但是钽电容器市场近几年表现出骤涨急落的发展态势。由于钽电容器产能过剩，且面临着被替代的威协，因此价格将无法返回到2000年以前的水平，并呈现整体持续走低的趋势。中国的钽工业发展应注重提高企业自身的综合竞争力，加强企业间的沟通、交流与合作，维护我国钽工业的整体利益，增强环保意识，做好国外转移到我国的初级产品和低端产品生产的环保工作。     

Cable-direct-driven-robot (CDDR) with a 3-link passive serial support

Cable-direct-driven-robots (CDDRs) provided with a passive serial support represent an interesting and rising evolution of planar cable robots. The paper is devoted to present and analyze a novel CDDR robot. The robot consists in a fully actuated CDDR supported against loading normal to the motion plane with a 3-link passive planar serial manipulator. This hybrid structure combines positive features of both parallel and serial architectures, and prevents out-of-plane movements without the necessity for the robot to be supported on the motion plane. The adoption of a 3-link serial manipulator ensures a greater workspace area compared with similar structures that adopt a smaller number of links, and improves specific characteristics of their dynamics. Nevertheless undesired oscillations may occur since the serial manipulator is underconstrained. For this reason damping elements are inserted in the structure. Simulation examples are presented to demonstrate the novel CDDR concept and its dynamics. In addition, a strategy to select proper values of damping coefficients is presented.     

不同重力环境的空间机械臂自抗扰轨迹跟踪控制

针对空间机械臂在地面装调与空间应用时,由于重力环境变化导致机械臂模型发生变化的问题,提出了一种自抗扰控制算法,用于完成空间机械臂轨迹跟踪控制的任务.该算法通过将系统模型及未知外扰作为系统的总和扰动,并利用扩张状态观测器对该扰动进行观测且给予补偿,从而提高了系统抗扰的性能.当机械臂模型随重力环境变化而发生变化时,使用同一个自抗扰控制器对其末端轨迹进行控制,均能取得较好的控制效果.通过对系统的稳定性进行分析,证明了所设计控制器的有效性.将仿真结果与PD控制及自适应鲁棒控制做比较,结果表明该控制算法不仅能适应机械臂模型的变化而且还能有效抵抗系统的扰动,从而使系统具有较强的鲁棒性.     

基于红外传感原理的无人机姿态测量系统设计

由于红外温度传感器能有效感知天空间的热辐射,并且相比传统姿态测量的传感器具有体积小、重量轻、成本低等特点,设计一种基于红外传感原理的无人机姿态测量系统;该系统以新型的ARM Cortex—M3内核微处理器STM32F103ZET6作为处理单元,通过采集红外传感器的姿态信息,进行姿态解算,进而获得无人机的姿态角;同时分析了太阳干扰对实验的影响。实验测试表明:该姿态测量系统简单实用,性能稳定,精度高,能有效满足一般无人机姿态测量的要求。     

物联网技术在科研量化管理平台中的应用及探索

科研管理的现代化及高效化是社会发展的趋势,将物联网技术集成到科研管理平台中,能达到高效、科学、高效的效果。完善当前科研管理系统的功能,使得平台除基本的管理功能外,同时具备量化积分功能及论文共享机制等功能,为考核、评价及后续工作提供参考数据,适应当前形势下的复杂需求。     

基于广义预测控制的船舶编队

针对多船舶之间的编队合作问题,对船舶的编队控制进行研究。利用广义预测控制方法在船舶运行中对理想路径曲线进行预测,得出船舶的运动控制策略;通过运用领导-跟随者编队方法,在Cartesian坐标系下建立船舶编队控制模型,基于这种模型建立一系列船舶航迹约束,得到船队跟随者成员的控制策略。同时在船舶运行过程中,加入风浪的扰动,进行模拟仿真,得到船队的运行轨迹。     

泥岩隧道光面爆破的技术参数研究及应用

针对泥岩隧道的特殊性,通过优化光面爆破的爆破参数,讨论泥岩隧道掘进的经济性、安全性。采用预埋振速传感器监测的方式,分析光面爆破对隧道周围岩体的扰动。现场光爆技术应用效果显著,隧道开挖轮廓线内基本未出现超欠挖现象,半孔率达86%以上,爆破进尺提升约15%,孔痕长度基本均匀分布一般都在孔长的66%以上;萨道夫斯基公式的系数K衰减明显、α基本稳定,光爆的振动速度和围岩扰动都得到了有效控制。     

被动桩中土拱形成机理的平面有限元分析

国内外对被动桩中土拱形成机理的研究比较少,尤其针对不同土性土体中这类问题的对比研究更是少见。借助平面有限元数值方法,对粘性土与无粘性土中被动桩间的土拱形成机理作了研究和对比分析,并讨论了土拱形成过程与土拱效应随土体参数如粘聚力、内摩擦角、弹性模量、剪胀角、泊松比、桩土接触特征的变化规律。研究表明:土性不同时,土拱形成过程中桩周土体的受力和破坏形式不同;剪胀角、泊松比、桩土接触特征对桩间土拱形成机理和效应影响明显。