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91.
氮氧化硅薄膜红外吸收特性的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
周顺  刘卫国  蔡长龙  刘欢 《兵工学报》2011,32(10):1255-1259
利用等离子体增强化学气相沉积法沉积氮氧化硅(SiOxNy)薄膜,通过X射线光电子能谱仪、傅里叶变换红外光谱仪、椭偏仪等表征技术,研究不同N2O与NH3流量比R条件下薄膜的组分、光学常数及红外吸收特性.研究结果表明:随着流量比R的增加,SiOxNy薄膜中O的相对百分含量提高,N含量降低,而Si含量基本不变;薄膜由于Si-...  相似文献   
92.
We present an interdigitated back‐contact silicon heterojunction system designed for liquid‐phase crystallized thin‐film (~10 µm) silicon on glass. The preparation of the interdigitated emitter (a‐Si:H(p)) and absorber (a‐Si:H(n)) contact layers relies on the etch selectivity of doped amorphous silicon layers in alkaline solutions. The etch rates of a‐Si:H(n) and a‐Si:H(p) in 0.6% NaOH were determined and interdigitated back‐contact silicon heterojunction solar cells with two different metallizations, namely Al and ITO/Ag electrodes, were evaluated regarding electrical and optical properties. An additional random pyramid texture on the back side provides short‐circuit current density (jSC) of up to 30.3 mA/cm2 using the ITO/Ag metallization. The maximum efficiency of 10.5% is mainly limited by a low of fill factor of 57%. However, the high jSC, as well as VOC values of 633 mV and pseudo‐fill factors of 77%, underline the high potential of this approach. Copyright © 2015 John Wiley & Sons, Ltd.  相似文献   
93.
The paper presents a quantitative approach to the investigation and comparison of the material qualities of III–V on silicon (III–V/Si) solar cells by using external radiative efficiencies. We use this analysis to predict the limiting efficiencies and evaluate the criteria of material quality in order to achieve high‐efficiency III–V/Si solar cells. This result yields several implications for the design of high‐efficiency III–V/Si solar cells. Copyright © 2016 John Wiley & Sons, Ltd.  相似文献   
94.
文章通过分析制约多模干涉型耦合器带宽的因素,提出三种可提高MMI带宽的设计方法。仿真结果表明,三种方法均可以不同程度地提高MMI的工作波长范围,对比于常规MMI耦合器的60nm工作波长范围,采用优化设计方法可将其带宽提高到140nm至210nm。当同时采用三种设计方法后,带宽可以达到300nm,是原结构带宽的5倍。  相似文献   
95.
张伟  周建伟  刘玉岭  刘承霖 《半导体技术》2006,31(10):758-761,765
在硅片研磨过程中,由于应力的积累和剧烈的机械作用,硅片表面损伤严重,碎片率增加.介绍了一种改进的研磨液,不但把剧烈的机械作用转变为比较缓和的化学-机械作用,还能起到其他较好的辅助作用并对其各成分作用,进行了理论分析.硅片表面状态得到了一定程度的改善,提高了生产效率.  相似文献   
96.
The transient thermoreflectance method has been used to measure the thermal conductivity of natural silicon and isotopically-pure silicon-28 layers that are epitaxially grown on natural silicon substrates. The measurements were performed at room temperature for both a low level (1016) and a higher level (2×1019) of Boron doping of the epitaxial layers. The results indicate a gain of approximately 55% in the thermal conductivity of Si28 as compared to that of natural Si, at both low and higher levels of doping, and a loss of approximately 19% for both types of silicon due to the higher level of doping.  相似文献   
97.
为提高薄膜电池对光的捕获能力, 将平面硅薄膜电池制 作成矩形空芯波导结构,对其太阳光注入方式、光捕获能力和光-电转换效能进行了理论和 实验探讨。基于 多层膜反射理论和波导反射模型对波导电池光捕获效果的预测表明,波导电池能够将入射光 限制在空芯结 构内多次反射和吸收,具有较平面电池更高的光捕获能力。测定了不同平行光束在不同入射角度 下平面和波导 电池的光捕获功率和光-电转换效能的结果表明,波导电池对入射光功率近似全部捕获,其 光-电功率转换效能 较对应的平面电池有3~5倍的提升。对不同截面尺寸和长度的单结空芯波导电池光捕获率 进行了计算,提 出从电池膜层结构和空芯几何尺寸参数优化硅薄膜矩形空芯波导电池的思路,通过优化有 望实现用小于多结平面电池外形尺寸的单结空芯波导电池达到更好的光捕获效果。  相似文献   
98.
Graphene‐based porous structures have triggered tremendous attention due to their promising application in many fields. Recent progress has yielded structures with stochastic porous networks, which limit their controllability and potential performance. It still remains a big challenge for the scalable production to integrate the 2D building block into engineered porous architectures in multidimensions. Here, a versatile technique based on soft bubble templating and fixation by freezing is described to fabricate 3D bubble‐derived graphene foams (BGFs) and 2D bubble‐derived graphene porous membranes (BGPMs). These light‐weight novel structures are carefully tuned. The BGFs show high adsorption capabilities for organic solvents and good recovery in structural deformation. Furthermore, applications of BGFs and BGPMs in strain sensors for wearable devices are discussed, working as a combined system which can both detect the compressive and tensile deformation. This technique can be extended to assemble other nanomaterials as building blocks into macroscopic configurations.  相似文献   
99.
The bit error rate (BER) theory of silicon photomultiplier (SiPM) based on‐off keying optical communication receiver, which introduces photon equivalent threshold is established. The optical crosstalk effect, the dark counts, the amplitude fluctuations of output pulses of SiPM, the baseline fluctuation, the shape of the incident light pulse, the adjacent symbol interference as well as the photon detection efficiency (PDE) are considered in the theory model. The numerical result shows that the average minimum optical power required is much smaller than that of the avalanche photodiode‐based receivers under the same conditions. The BER of SiPM‐based optical communication receiver is very sensitive to the PDE and optical crosstalk (OC) probability of SiPM. For the application of digital optical communication, a SiPM with high PDE but low OC probability and low dark count rate is a preference, under the premise that the output pulse is fast enough. For the state‐of‐the‐art SiPMs, the dark count rate is small enough to obtain adequate BER, and the OC effect is not a big limitation of the performance of SiPM‐based receiver. Moreover, the amplitude fluctuation and the baseline fluctuation of the SiPM‐based receiver are not bottlenecks of the performance in practice.  相似文献   
100.
基于多孔硅光激荧光淬灭效应的SO2传感器   总被引:4,自引:0,他引:4  
本文提出了用于大气环境中SO2含量监测的多孔硅(porous silicon)光学传感方法,该方法利用电化学浸蚀和UV光氧化后形成轻微氧化孔Si,所产生的表面膜对SiO2气体具有良好的敏感特性,本文依据SiOxHy/Si界面处的过渡态模型分析了该方法的传感原理,利用SEM和荧光光谱仪对UV 光氧化的多孔Si膜层性质及传感性能进行初步实验,取得预期研究结果。  相似文献   
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