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71.
Dong-Soo Yoon Jae Sung Roh Sung-Man Lee Hong Koo Baik 《Journal of Electronic Materials》2003,32(8):890-898
The effect of a thin RuOx layer formed on the Ru/TiN/doped poly-Si/Si stack structure was compared with that on the RuOx/TiN/doped poly-Si/Si stack structure over the post-deposition annealing temperature ranges of 450–600°C. The Ru/TiN/poly-Si/Si
contact system exhibited linear behavior at forward bias with a small increase in the total resistance up to 600°C. The RuOx/TiN/poly-Si/Si contact system exhibited nonlinear characteristics under forward bias at 450°C, which is attributed to no
formation of a thin RuOx layer at the RuOx surface and porous-amorphous microstructure. In the former case, the addition of oxygen at the surface layer of the Ru film
by pre-annealing leads to the formation of a thin RuOx layer and chemically strong Ru-O bonds. This results from the retardation of oxygen diffusion caused by the discontinuity
of diffusion paths. In particular, the RuOx layer in a nonstoichiometric state is changed to the RuO2-crystalline phase in a stoichiometric state after post-deposition annealing; this phase can act as an oxygen-capture layer.
Therefore, it appears that the electrical properties of the Ru/TiN/poly-Si/Si contact system are better than those of the
RuOx/TiN/poly-Si/Si contact system. 相似文献
72.
研究了红外频段非线性s偏振表面波在反铁磁晶体和电介质交界面上的频率特性,求出了非线性色散方程,揭示了非线性s偏振表面波存在一个临界频率,低于这个频率,非线性s偏振表面波的频率范围,发现功率不再是决定导波频率范围的唯一因素,两种材料的介电常数比在这里起了至关重要的作用。 相似文献
73.
介绍了采用同心旋转调制盘和相应的逻辑门积分计数的积累检测技术的基本原理,并给出采用同心旋转调制盘的红外检测系统的基本结构,介绍了同心旋转调制盘系统的设计方法,通过对实验结果进行分析,表明同心旋转调制盘技术在红外检测系统应用中可以大大地改善系统的性能,提高了探测概率,降低了虚警概率。同时分析了该系统存在的问题,为红外检测技术的进一步发展提供一些经验。 相似文献
74.
75.
回热损失对磁斯特林制冷循环制冷率的影响 总被引:7,自引:0,他引:7
从铁磁质的磁化强度一般表示式出发,探讨热阻和回热损失对磁斯特林制冷循环性能的影响,导出最大制冷率及其它性能参数。得到了结果适用于以顺磁质为工质的磁斯特林制冷循环。并指出在理想回热条件下的结论也适用于磁卡诺制冷循环。 相似文献
76.
用两种方法——取代法和共聚法合成了一系列羟基镍铝交联蒙托石(GNiAl-CLM和NiAl-CLM),首次利用两种方法,交联前和交联后高温老化处理,对交联蒙托石的热稳定性进行改进。结果表明:取代法合成的羟基镍铝交联蒙托石具有均一的(001)面衍射,底面间距d(001)值均为1.8nm左右,而共聚法合成的羟基镍铝交联蒙托石出现两个(001)面衍射,d(001)值分别为1.8nm和1.55nm;高温处理后,热稳定性得到明显改进,热稳定性可高达700℃以上。 相似文献
77.
针对辽河油田应用泡沫夹克管道的情况,从泡沫夹克管的制作和敷设施工直到设计等环节,结合泡沫夹克管防腐保温的机理,并从理论与实践相结合角度出发,提出导致泡沫夹克管腐蚀损坏的最主要原因是管道保温层漏水,进而提出了在设计和施工过程中提高泡沫夹克管质量的措施。 相似文献
78.
79.
采用遥感技术与地面调查相结合的方法,组织多学科综合调查研究,对云南滇池流域水土流失状况及程度进行了调查分析。初步查明了引起水土流失灾害的原因并提出相应的防止对策。 相似文献
80.
从遥感测温的基本原理出发,结合发生在水面热力薄层内热结构变化的物理特征,分析了遥感技术用于监测水面薄层热结构垂直温度廊线与变化的可行性。据此,在气一水热力薄层的实验室模拟研究中得到了应用与验证,经实验证实这种新技术与常规手段结合可为水面热力边界层研究提供可靠的数据来源。由此认为,这一方法的研究将在微尺度海面过程、全球气候变化和水一气间能量通量研究中有着广阔的推广应用前景。 相似文献