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本文较详细地介绍了美国杜邦公司4815干膜的性能和它在微波器件电路制作,尤其是在孔金属化微波器件电路制作中的应用,提供了在我所现有设备(YZB-500曝光机和JBA2000光刻机)条件下,用4815干膜工艺能制作出最精细的电路尺寸和间隙值,即国内的新记录。 相似文献
102.
FTTC—PON结构 西门子公司的FTTC—PON由交迭的两个子网组成,共享一个通用的基础设施。一个用于分布业务的传送,另一个用于支持交互业务,如图1所示。 相似文献
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