DLC膜作为Ge片减反射膜的研究

本文采用rfPCVD方法,以甲苯为工作气体,制备出DLC膜,研究了它的光学性能,以及作为激光窗口材料Ge片的减反射膜的应用。     

多级尝试法对主动监控法的优化

采用多级尝试法对用来在半导体激光器端面镀制极低反射率膜的主动监控法进行优化,使剩余反射率为10~(-4)数量级膜的镀成几率大大提高,单面镀的最好水平已达到10~(-5)数量级,并且获得了两端面剩余反射率几何平均值小于3×10~(-4)的半导体发光管。根据O'Mahony对行波式半导体光放大器提出的判据,这种二极管可以用作单程增益为27.5dB的行波光放大器的工作介质。     

新型减反屏蔽膜系的模拟设计

为解决航空条件下复杂外界环境对液晶显示器的各种干扰,本文设计了一种新型减反屏蔽膜系结构,将ITO透明导电膜层作为减反膜系中的一层,使膜系在达到减反效果的同时还具有屏蔽功能,大大降低了ITO作为屏蔽膜层单独使用时在可见光部分的剩余反射率。通过TFCalc光学膜系设计软件进行模拟．结果表明该膜系结构在可见光部分的剩余反射率明显下降,其中最优膜系的平均剩余反射率为0．43％,面电阻率达到11．8Ω／□,使得液晶显示器在航空环境条件下的工作性能有了显著提高。     

Ag颗粒表面等离子体增强GaAs太阳电池双层减反射膜的设计与模拟

Surface plasmon enhanced antireflection coatings for GaAs solar cells have been designed theoretically.The reflectance of double-layer antireflection coatings（ARCs） with different suspensions of Ag particles is calcu-lated as a function of the wavelength according to the optical interference matrix and the Mie theory.The mean dielectric concept was adopted in the simulations.A significant reduction of reflectance in the spectral region from 300 to 400 nm was found to be beneficial for the design of ARCs.A new SiO2/Ag-ZnS double-layer coating with better antireflection ability can be achieved if the particle volume fraction in ZnS is 1%-2%.     

纳米压印法制作亚波长结构PI减反射膜

为提高柔性基底太阳能电池光电转化效率,减少表面反射损失,用Tracepro光学仿真软件模拟设计亚波长结构减反射膜尺寸参数,仿真结果表明亚波长结构薄膜在纳米柱高度72 nm,占空比为0.5,光栅周期在300~440 nm处,光通量增强效果最佳.采用纳米压印技术,以多孔结构阳极氧化铝为模板,制作聚酰亚胺基底减反射膜.采用扫描电子显微镜和紫外-可见分光光度计研究了阳极氧化技术所制作的Al2O3模板及其纳米压印技术等工艺参数对PI薄膜透过率的影响.测试结果表明,在0.3 mol/L草酸溶液中,70 V恒压模式连续反应1 h条件下制备AAO模板,在280℃,800 kg压力条件下,热压印时间为10 min所得PI膜.在AM1.5大气质量条件下,UV-VIS透射光谱从440~1 000 nm区域,所制作的薄膜较原始PI膜的透过率提高2%~5%.     

采用在线CVD法制备光谱选择性减反射玻璃的研究

采用在线CVD法在模拟玻璃生产线上,制备了具有疏水效果和有效阻挡紫外线的单面双层减反射太阳电池用镀膜玻璃。     

InSb红外焦平面列阵器件减反射膜淀积方法

本发明公开了一种InSp红外焦平面器件减反射膜低温淀积方法及其专用金属掩模架。其方法为淀积温度1000C～105℃，Sill。流量5．8～6．2sccm，N2O流量88～95sccm，腔体压强600～610mτ，淀积时间80min。其效果使得InSb芯片的反射率在3．7～4．8μm工作波段降至8％～19％，从而使得InSb红外焦平面器件的响应率提高30％。沉积减反射膜采用专用金属掩模架，保护了硅CMOS读出电路，使其引线脚部位免于氧化硅膜的淀积。该方法满足了空空导弹制导用InSb红外焦平面器件减反射膜制备的要求．     

利用Rugate膜系理论实现宽角度入射1500-1600nm波段减反射薄膜的研究

阐述了利用Rugate膜系理论设计宽角度减反射薄膜的方法,从理论上分析了在宽角度的情况下,偏振产生透过率不同的原因,模拟设计了光谱区在1500-1600nm波段,入射角从0度到80度宽角度减反射薄膜,探索出了一条新型膜系设计的途径,其优化结果是较为理想的．这一研究方法如能在太阳能、光纤通信、航天、激光等领域应用,将大大地提高光能的利用率,具有重要的应用价值．     

Wollaston棱镜宽带减反射膜的研制及测试

针对Wollaston棱镜中o、e光对应的基底折射率相差较大以及制作该晶体的冰洲石和许多薄膜材料间附着力较差的特点,为了提高镀膜材料和冰洲石基底的附着力以及提高棱镜的透过比,拓宽有效使用带宽,借助于计算机辅助设计方法,设计了高性能多层减反射膜系。选用合适的光学薄膜材料,利用电子束蒸镀,借助于离子源辅助蒸镀,制作了高性能的宽带减反射膜。测试结果表明：o光的平均剩余反射率小于1．0％,e光的平均剩余反射率小于0．5％,有效使用带宽在近红外大于200nm;薄膜和基底结合牢固,达到了设计要求,提升了棱镜的品质。