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采用新型混合材料的多波长激光减反射膜的研制 总被引:1,自引:0,他引:1
针对激光致盲武器的特殊要求,借助Macleod和TFCalc软件,选择H4和YbF3作为高低折射率材料进行膜系优化设计,采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积技术,通过正交矩阵实验对材料的工艺参数进行调整和优化,在蓝宝石基底上,制备了符合要求的宽带增透膜。镀膜后的蓝宝石基片在532、808、905、980和1064 nm波长处的透射率大于97%,中红外波段3~5μm的平均透射率大于92%。通过内保护层技术的引入,进一步提高了膜层的激光损伤阈值。该薄膜可以同时满足多个激光波长的使用要求,拓宽了其应用范围,降低了使用成本。 相似文献
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1引言
大多数多晶硅太阳电池的减反射膜都是用增强的等离子化学气相沉积法(PECVD)沉积的掺氢氮化硅膜层(Sinx:H)。和其它减反射膜(如二氧化钛)相比,Sinx:H的优点是它具有很好的表面和体钝化功能。除了这些优点之外,PECVD技术有几个显著的缺点,主要是PECVD工艺使用爆炸性气体以及维护周期较短,同时PECVD技术在大面积在线镀膜时的膜厚均匀性也存在问题,这些问题使人们对采用不同的沉积技术产生了兴趣。由于对不同材料在大面积基片上采用溅射镀膜具有高产能、良好的均匀性和较长的维护周期等优势,因此溅射技术成为在太阳电池片上沉积Sinx:H膜层的较为理想的方式。 相似文献
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视保屏减反射膜系的设计 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了几种视保屏减反射膜系的设计,并讨论了在实际生产中,膜厚的误差对减反性能所带来的影响。 相似文献
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激光减反射膜制备技术展望 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了激光减反射膜的需求,激光减反射膜的作用原理,溶胶-凝胶法技术4的发展历史,制备工艺以及性能测试,并对存在的问题作了简要说明。 相似文献