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非接触型光外差轮廓仪 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍一种纳米级非接触型高精度光外差轮廓仪,它是基于普通光路的光外差干涉仪。工件表面被两束有微小频差的激光束所照射,其中一束经聚焦后用作测量光探针来扫描工件表面,另一束则用作参考光束。两束光经表面反射后产生干涉。测量信号和参考信号的相位差与表面的微不平值成正比。仪器的横向分辨率为2μm,高度分辨率为1 nm,它不需要对试样作大范围的调整,且可用试样自身作参考面。信号经光电转换后由微型计算机进行处理,它能快速完成测量、计算、显示及打印出各种参数和曲线。 相似文献
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铁—钼非晶态合金镀层的表面特性 总被引:2,自引:1,他引:1
研究了非晶态Fe-Mo合金镀层在室温下的原碱性镀液中或其他溶液介质中的表面电位、表面形貌的变化。表面电位变正了约200mV,表面形貌为放射花纹状图案。而晶态的Fe-Mo合金镀层则没有这种变化。 相似文献
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《信息技术与标准化》2004,(11):i003
《国家标准、行业标准代替废止对照目录》;《标准紧固件实用手册》;《实验室管理、认可与运作》;《电线电缆实用技术手册》;《六西格玛一卓越经营之道》 相似文献
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