用电场和超声力场提高微滤

本文论述电场和超声场可通过减轻因膜污染引起的流通量降低来促使微滤，并说明单独和合成的场作用以及其它过滤参数的影响。     

1975年微合金化会议以来的20年

１９７５年微合金化会议以来的２０年中，在微合金化领域内所作的大量技术努力给人以深刻的印象。在强度，可焊性，韧性以及抗脆断等方面有了明显改善。     

单片集成电路高台面联线

介绍了ＧａＡｓ ＭＭＩＣ高台面刻蚀制备工艺方法，解决了高低台面联线问题，提高了单片集成电路性能，保证了可靠性。     

微污染水源水生物接触氧化处理工艺中几种填料处理效果的初步比较

分析了ＹＤＴ、ＴＡ及ＰＷＴ３种填料的结构特点，对３种填料在微污染水源水生物接触氧化处理工艺中的处理效果进行了初步比较。研究表明３种填料均可用于微污染水源水生物接触氧化处理工艺，并且３种填料在比表面积相近的安装布置方式下运行条件相同时对氨氮的去除效果接近。有必要进一步研究填料的最优布置方式及在不同的水源水水质条件下填料运行状态的变化等问题。     

集成运算放大器应用技巧（五）：第五讲：单电源运放应用技巧

集成运放一般都是在对称的正、负电源下工作的,典型值为±15V。在只有单电源的场合,运放能不能工作呢?答案是:在一定条件下是可以的。如图1所示交流放大电路,图1(a)采用±15V供电,U_1为正弦信号,放大倍数为-10。图1(b)为单电源 30V供电,处理的办法是利用两个相等的电阻将本应接地的同相输入端接到 30V的中点电位。即     

纹膜结构用于电容式硅微麦克风的研究

本文提出的一种纹膜结构单硅片微麦克风，采用了硅微机械技术，且实现了麦克风电容两电极之间的自对准，大大提高了麦克风的生产效率，降低了成本．纹膜结构有降低和消除膜内应力的作用，而纹膜的三维结构使麦克风电容的有效面积有所增加，这些都显著地提高了麦克风的灵敏度，是该项新结构的关键．本文从理论和实验上对纹膜结构机械性能与结构尺寸参数之间的关系，及结构的优化进行了研究．通过对制作出的不同结构参数ｑ值的麦克风的测试，得到了与初步理论分析基本相符的实验结果．实验证明，纹膜结构具有比相应的平膜结构高得多的机械灵敏度和麦克风     

对牙轮钻头刮削孔壁的探讨

本文通过数学计算，论证了非移轴布置的单锥体牙轮钻头和主锥超顶非移轴布置的复锥体牙轮钻头在工作中刮削炮孔壁的原因。     

面向表面微加工工艺的微器件设计框架的研究

本文以微器件设计为对象，对微硅表面制造驱动的微器件并行设计方法学及相应的计算机辅助设计工具的开发逻辑进行了研究，提出了采用基于三层Web-ASP集成框架实现e-CAD原型工具的编程方案，其中，并行任务流管理与控制，微器件实例及设计资源库，微加工工艺规划及仿真，微器件设计评价等是该系统实现的关键要素，在此基础上将建立网上微器件设计中心，并通过应用服务机制，实现对微器件设计工具使用的商务化，以达到降低设计成本，加快MEMS产业化之目的。