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微机械、微电子技术是三微系统工程的组成部分，本刊第4期已阐述了微光学技术的发展。本文的第二部分介绍微机械和微电子集成系统的技术现状和应用前景。 相似文献
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微型阀是微流体测量系统的重要组成部分，本文提出了种微型光敏聚酰亚胺被动阀，分析了该材料性能，叙述了微型阀的特点、结构设计和工艺流程，并讨论了加工过程中的一些关键技术。 相似文献
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超微型转子动平衡机数字滤波算法研究 总被引：3，自引：0，他引：3
本文设计的数字线性相位带通滤波及ＤＦＴ解调算法，成功地应用于超微型转子动平衡机幅度及相位解调中。 相似文献
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微型化学实验是当今化学教学中的重要变革之一。本文简单介绍了微型化学实验的特点和当前国内外发展的概况，倡议在我省的化学中尽快推行微型化学实验 相似文献