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Ⅰ线光致抗蚀剂可以同时实用电子束和光学系统曝光,在50kV加速电压下,其曝光剂量为50-100μC/cm^2,曝光后在0.7%NaOH溶液内显影1分钟。其灵敏度比PMMA快5倍,分辩率为0.5μm。采用两方法制备CaAsPHEMT:一种用Ⅰ线光致抗蚀剂,对源、漏及栅全部都采用电子束曝光,制备了0.5μm栅长的GaAs PHEMT;另一种将源、漏及栅分割成两部分,其中精细部分由电子束曝光,其余部分由光学系统曝光,用这种方法制备了0.25μm栅长的GaAs PHEMT。Ⅰ 相似文献
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摄影时正确曝光是获得完美影像的关键所在。目前照相机的自动化程度越来越高 ,大部分相机设有自动曝光功能 ,但是自动曝光相机能正确曝光 ,并提供曝光数据 ,并不等于照相机上的自动曝光对任何景物都能做出正确判断。例如 ,强反光主体或弱反光主体的拍摄 ,自动曝光往往会失误 ,最典型的例子是使用自动相机拍摄白雪时 ,把白雪拍成了“灰雪” ,造成曝光不足的现象。这时我们应对相机测光系统的性能有详尽的了解 ,根据拍摄景物的具体情况 ,来修正相机提供的自动曝光数据 ,从而达到正确曝光。1 为什么要曝光补偿现代照相机测光系统在设计上 ,对… 相似文献
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Visual FoxPro是优秀的管理系统开发平台,广泛用于企业管理和信息管理系统的开发,但它存在着数据结构透明度高、保密性差的缺点. 相似文献
105.
分析了大亚湾核电站18个月换料对流体系统可能产生的影响,根据改进后的燃料管理策略以及相关参数变化,遵照系统设计准则的要求。对14个流体系统的容量和能力进行了计算和论证。论证结果表明,大亚湾核电站现有系统基本满足18个月换料的需求 相似文献
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本文分析了锁相式频率合成器的各种扩捕手段及它们的优缺点,并提出最适合雷达捷变频使用的频综锁相环捕捉方案;同时分析了这种频综的跳频时间,提出了实现快速跳频的各种有效措施。 相似文献
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数字签名方案采用公钥加密技术确保了文档数据的完整性、真实性和不可抵赖性,但是它是时间不敏感性的.可能使得签名含有相同的时间而发生冲突。本文引入了可信时间戳概念来解决这个问题,设计了一种带有时间戳的XML数字签名方案。 相似文献
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