微泡聚合物材料的研究与应用

微泡聚合物材料是一种很有发展前任的新型材料，与原聚合物相比，它具有许多优越性，如重量轻，隔音隔热效果好，使用寿命长，且具有足够的强度，原材料的消耗可减少２０－４０％，本文简要地介绍了微泡聚合物的结构特征，制备工艺，以及聚合物经微泡过程民微泡聚合物后其性能上的某些变化。     

粗苯放散气体回收系统的开工调试经验

介绍了焦化厂粗苯放散气体回收系统开工调试的经验。     

RESIDUAL GAS IONIZATION BEAM PROFILE MONITOR ON 40MeV H^— BEAM TRANSPORT LINE

The monitor is composed of a pair of electrodes,a single stage of microchannel plate,a phosphor screen,a CCD camera and a PC computer,To obtain a good uniform collecting field,forming electrodes system is used instead of that with a resistive divider,The readout system is performed by the phosphor screen and the CCD camera because the spatial resolution is not limited by the mechanical structure like the anode strip type and such video display system is very useful for beam studies and operation of the 40MeV linac,Besides,the design and test results are described in detail.     

SF6气体中水份监测、控制及处理

本文叙述了SF6气体中微水的来源及危害，对SF6气体中微水测试，探制及超标处理的方法进行了分析总结。     

利用氟化气体和氧气的混和物进行SiC薄膜的反应离子刻蚀

本文研究了在ＳＦ６，ＣＢｒＦ３和ＣＨＦ３与氧相混合的几种氟化气体等离子体中，ＳｉＣ薄膜反应离子刻蚀（ＲＩＥ）的深度。通过监测射频等离子体的光发射谱及产生等离子体的直流偏压来研究刻蚀机理，为了更精确地定量分析刻蚀工艺，使用氩光能测定技术使等离子发射强度转换为相应的等离子物质浓度。为获得选择性的ＳｉＣ－Ｓｉ刻蚀及ＳｉＣ薄膜的各向异性图形，对等离子体条件，如气体混合物的构成，压力和功率进行了研究。首次采