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992.
993.
994.
采用低压化学气相淀积(LPCVD)非晶Si填槽工艺代替LPCVD多晶Si填槽工艺,对沟槽绝缘栅双极型晶体管(IGBT)器件的沟槽进行非晶Si回填,研究并优化了高深宽比非晶Si填槽工艺.分析了LPCVD非晶Si工艺参数如PH3体积流量和沉积时间等对LPCVD非晶Si填槽能力的影响,通过调制P掺杂浓度和优化非晶Si淀积时间,得到槽底侧壁与槽口侧壁非晶Si厚度差值为0.022 μm的基准非晶Si填槽工艺,优化了LPCVD非晶Si反复多次填槽工艺条件.结果表明,采用优化后的工艺可实现沟槽栅IGBT器件沟槽非晶Si无缝回填,器件的栅极电阻降低了0.150 Ω,漏电流降低了1.408 nA,成品率提升了0.4%. 相似文献
995.
996.
目的:建立GC法同时测定五香丸中丁香酚、去氢木香内酯及木香烃内酯含量的方法。方法:气相色谱条件:HP-5毛细管柱(30 m×0.25 mm×0.25μm);检测器:FID;进样口温度:230℃;检测器温度:250℃;程序升温,初始温度80℃,25℃/min升温至180℃,保持3 min,20℃/min升温至200℃,保持8 min;流速:1.0 mL/min,氢气流量40 mL/min,空气流量400 mL/min;分流进样,进样量1μL,分流比10∶1。结果:丁香酚、去氢木香内酯及木香烃内酯线性范围分别为16.99~45.31μg/mL、7.43~19.81μg/mL、12.76~34.02μg/mL,平均回收率分别为102.07%(RSD=0.75%)、97.85%(RSD=0.61%)、97.67%(RSD=0.76%)。结论:本研究所建立的方法可靠易行,专属性强,可以有效对五香丸中丁香及木香进行定量控制。 相似文献
997.
实验参照《环境监测分析方法标准制修订技术导则》(HJ 168-2010)用气相色谱质谱法测定土壤中的喹啉的方法,进行了方法检出限、精密度和准确度的实验。土壤经过二氯甲烷︰丙酮(V︰V=1︰1)加压流体提取,过滤、KD浓缩,用气相色谱质谱法测定土壤中的喹啉含量,其准确度范围在81.0%~102.2%之间,该方法的检出限为0.01 mg/kg,用气相色谱质谱法进行喹啉的分析具有一定的可行性和有效性。 相似文献
998.
采用直接进样(Direct Injection, DI)和顶空固相微萃取法(Headspace solid phase microextraction, HS-SPME)分析两种香型西凤酒中的香气成分,再结合气相色谱-质谱法(gas chromatography-mass spectrometry, GC-MS)进行定性与相对定量分析。直接进样凤香型西凤酒共鉴定出31种挥发性物质,浓香型西凤酒共鉴定出18种挥发性物质,通过HS-SPME,凤香型西凤酒共鉴定出43种挥发性物质,浓香型西凤酒共鉴定出19种挥发性物质。直接进样能直观反映白酒中真实的浓度,HS-SPME可以富集到较多种类的风味成分,两种方法可为西凤酒香气成分的分析提供更加全面完整的数据支持。研究结果表明凤香型西凤酒比浓香型西凤酒检测出更多的风味成分,两种前处理方法得到的都是酯类为主,其中乙酸乙酯、乳酸乙酯和己酸乙酯在两种香型西凤酒中都是主要香气成分。 相似文献
999.
1000.
为了解铜仁市不同地区梵净山绿茶的主要香气以及探寻不同地区绿茶香气成分差异,采用顶空-固相微萃取-气相色谱-质谱联用(HS-SPME-GC-MS)分析铜仁市不同区域的梵净山绿茶香气成分,香气成分分为七类,分别为醇类、醛类、烯烃、烷烃、酯类、苯类、酮类。醇类、酮类、酯类是具有香气的成分类,它们是茶叶共有的香气成分,而苯甲醇、苯乙醇、芳樟醇、β-紫罗兰酮、茉莉酮、(Z)-己酸-3-己烯酯、柠檬烯是其中对香气有贡献的几种成分,从而构成了梵净山绿茶的独特香气。 相似文献